產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
RTF1200轉(zhuǎn)動式PECVD系統(tǒng)介紹:
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃
(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識別時要注意)、不會生銹,使用時間再長都不會掉渣。
(3)、Kanthal電阻絲資料下載
(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站
(5)、電阻均衡、溫場均衡性好
RTF1200轉(zhuǎn)動式PECVD系統(tǒng)該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會實(shí)時繪出,并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時可以調(diào)出
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術(shù)成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本*的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱,溫場更加均衡
1.為了增加抽氣速率,達(dá)到更高真空的要求??蓪⒃熊浌芙宇^更換成KF-25接口(VS-0.1和VS高真空系統(tǒng)接口皆為KF25)
2.如用于供氣系統(tǒng),可將原有軟管接頭更換成Φ6.35mm雙卡套接頭.
3.轉(zhuǎn)動電機(jī)功率:40W
4.電動推桿功率:40W
5.爐子傾斜角度:-10~30度
6.爐管轉(zhuǎn)動速率:采用無級變速電機(jī)轉(zhuǎn)速可在1-25轉(zhuǎn)/min之間可調(diào)
7.轉(zhuǎn)動密封方式:采用轉(zhuǎn)動磁流體密封
8.四周表面溫度:≤45℃