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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
GTK150擴散泵高真空機組系統(tǒng)是由FFX-16前級機械泵、擴散泵、高真空閥、前級管路，冷凝器、高真空檢測系統(tǒng)（復(fù)合真空計）等組裝于機架上而成的清潔超高真空獲得設(shè)備。該機組的真空度可達到5X10-3 Pa(即0.005Pa)，安裝方便，操作簡單，易于連接，性能可靠，可廣泛用于表面分析、釬焊、真空熱處理、真空熔煉、加速器技術(shù)、半導(dǎo)體設(shè)備、等離子體技術(shù)、電真空器件的制造及真空技術(shù)各領(lǐng)域。
一、擴散泵高真空機組系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
1、機組輸入電壓：220V/380V
2、波紋管：KF40*1000mm
3、真空擋板閥：KF40
4、機箱尺寸：600*600*600mm
二、擴散泵技術(shù)參數(shù)
擴散泵
| 擴散泵型號 | TK150 |
入口直徑 | 150mm | |
抽氣速率L/S（對空氣） | 1000L | |
建議啟動壓強 | ＜10 Pa | |
極限壓強（Pa） | 7×10-5 | |
排氣口法蘭 | KF40 | |
功率 | 1.2KW | |
輸入電壓頻率（V/Hz） | 220V | |
環(huán)境溫度（℃） | 0～40 | |
前級泵型號 | FX-16 | |
冷卻方式 | 水冷 | |
冷卻水溫度（℃） | <25 | |
安裝方式 | 垂直 | |
注油量 | 0.3L | |
重量（公斤） | 40 | |
產(chǎn)品型號 | FFX-16 |
三、真空泵參數(shù)
擴散泵泵前級真空泵FFX-16 (擴散泵必須要配此前級泵)
| 功率 | 0.55KW |
電壓 | 220V | |
轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | |
進氣口徑 | KF25/KF40 | |
前機泵抽氣速率（L/S） | 14.4 | |
極限壓強 | 4X10 -2Pa |
四、復(fù)合真空計技術(shù)參數(shù)
復(fù)合真空計
| 復(fù)合真空計型號 | ZDF |
電源 | 220V 55W | |
控制精度 | ± 1% | |
真空計測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa |
ZDF型系列電阻/電離復(fù)合真空計是基于低真空測量電阻單元(ZJ-52T電阻規(guī))與高真空測量電離單元(ZJ-10電離規(guī))技術(shù)組合，以完成1×105~1×10-4Pa連續(xù)測量與控制。因此該真空計系列具有電阻真空計與電離真空計所有技術(shù)參數(shù)與性能特點。該真空計系列具有兩種工作模式：手動模式與自動模式。手動模式工作時，相當(dāng)于獨立的電阻真空計和電離真空計；自動模式工作時，首先電阻單元進入測量，當(dāng)電阻單元測量真空度高于電離規(guī)可以開啟的真空度時，電離規(guī)燈絲自動被點亮(開啟)，并進入高真空測量，實現(xiàn)了從大氣壓(常壓)到高真空的自動連續(xù)測量。還增加了外設(shè)(PLC)開閉電離規(guī)功能，以實現(xiàn)電離規(guī)工作于真空環(huán)境，以延長電離規(guī)工作壽命。