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PI (Physik Instrumente)NEXLINE線性促動(dòng)器N-216.101長行程納米定位
NEXLINE線性促動(dòng)器
長行程納米定位,具有高力,PiezoWalk原理
系列特點(diǎn):
N-216
§ 力量生成達(dá)600牛
§ 保持力達(dá)800牛
§ 行程20毫米
§ 帶分辨率的集成式直接測量線性編碼器 5納米
應(yīng)用領(lǐng)域
§ 工業(yè)級(jí)精度定位
§ 半導(dǎo)體技術(shù)
§ 半導(dǎo)體測試
§ 晶圓檢測
§ 平版印刷術(shù)
§ 納米壓印
§ 納米測量
§ 強(qiáng)磁場和真空中運(yùn)動(dòng)
采用PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)納米精度和大進(jìn)給力 、數(shù)個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器在PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)中執(zhí)行步進(jìn)運(yùn)動(dòng),將動(dòng)輪向前推進(jìn)。促動(dòng)器控制允許以遠(yuǎn)低于一納米的分 辨率進(jìn)行小步進(jìn)和推進(jìn)運(yùn)動(dòng)。
型號(hào)示例:
N-216.101
NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動(dòng)器 ,20毫米,300牛,開環(huán)
N-216.1A1
NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動(dòng)器 ,20毫米,300牛,線性編碼器,5納米分辨率
N-216.201
NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動(dòng)器 ,20毫米,600牛,開環(huán)
N-216.2A1
NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動(dòng)器 ,20毫米,600牛,線性編碼器,5納米分辨率
詢價(jià)采購須知:
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漢達(dá)森市場部 李銀
PI (Physik Instrumente)NEXLINE線性促動(dòng)器N-216.101長行程納米定位
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