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日本RORZE樂茲驅(qū)動器介紹：  

遠為國際貿(mào)易（無錫）有限公司常備日本樂茲驅(qū)動器大量型號現(xiàn)貨。  

RORZE是在日本東證一部上市并從事半導(dǎo)體晶圓傳輸36年經(jīng)驗的公司，中文名樂孜。專門從事各種對使用環(huán)境要求嚴(yán)苛的高精密運動控制機器的制造、銷售、研發(fā)。  

公司總部RORZECORPORATION自1985年成立以來一直專注于晶圓傳輸機器人及相關(guān)自動傳輸用的組件和大型自動傳輸設(shè)備的研發(fā)、制造和銷售業(yè)務(wù)。掌握晶圓傳輸所需要的robot，loadport及Aligner這些組件從軟件到硬件的核心技術(shù)。公司創(chuàng)始人崎谷文雄先生發(fā)明一款潔凈傳輸機器人，自此大大提升了芯片制造過程的良率，由此RORZE的產(chǎn)品在業(yè)界得到廣泛的好評。目前RORZE產(chǎn)品大量應(yīng)用在業(yè)界的3nm制程的產(chǎn)線上。項目主要產(chǎn)品：晶圓自動傳輸設(shè)備，該設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路生產(chǎn)線上用于晶圓的自動傳輸，根據(jù)具體應(yīng)用，可單獨使用，亦可跟工廠自動化對接實現(xiàn)晶圓的上下料自動傳輸，還可跟刻蝕，CVD，PVD,光刻，檢測等各種制程設(shè)備搭載使用。  

日本RORZE樂茲驅(qū)動器銷售型號：  

RD-153A  

RM2B4233-18S  

RC234  

RD-023MS  

RD-153→RD-153A  

RC-400  

RC-420  

RD-023  

RD-023MS  

RD-023MSA  

RD-021M8  

RM5685D  

RM2690S  

RC234  

RD-053MS  

RD-023MS  

RC002C  

RC-208A  

RM5A6085-30D  

RM2B4239-16D  

RD-153A  

RD-026MSA  

RD-053A  

RD-026MB  

RD-123A  

RD-029MS  

RD-024MB  

RD-023MS  

RD-053MS  

RD-053A  

RD-053A  

RD-353  

RD-053MS  

RD-323MS  

RD-323  

RD-023MS  

RD-053MS  

RD-023MS  

RD-153A  

RD-053A  

RM5A8692-30D  

RC-231HA升級為RC-234  

RM2B4233-18S  

RD-023MB升級為RD-024MB  

RD-023RD-023MSRD-023MSA  

RD-153升級為RD-153A  

RD-053MSRD-023MSRD-153ARD-053A  

RD-153,RD-353A,RD-023A,RD-023  

RD-053MSRD-023MSRD-153ARD-053A  

RM59B2D→RM5A8692-30D  

RD-02CMSHRD-024MB  

RD-023MB（RD-024MB）  

RD-023RD-023MSRD-023MSARD-021M8  

作為一個提取式氣體取樣系統(tǒng)，MIDAS氣體探測器能在本地或從一個遠程點提取一個樣品到位于探測器機  

架內(nèi)的傳感器盒?？梢蕴峁┹^廣范圍的毒氣、可燃?xì)怏w和氧氣傳感器盒，以便實現(xiàn)半導(dǎo)體和其他生產(chǎn)工業(yè)  

中使用或產(chǎn)生的氣體探測。  

MIDAS是用于墻面安裝的，能夠通過自身背光LCD和LED顯示氣體濃度、報警、故障信息。位于顯示屏  

下方的簡便易用的4按鈕鍵盤為設(shè)置，瀏覽，操作和更改探測器配置提供了便利。  

MIDAS標(biāo)配有內(nèi)置的靈活電源和通訊能力。其中包括3個插件繼電器、0-22mA模擬輸出裝置、Modbus/TCP、信號和服務(wù)連接輸出裝置以及革新的以太網(wǎng)供電（PoE）協(xié)議，該協(xié)議實現(xiàn)了所有電源控制和通訊要求的單一以太網(wǎng)連接。MIDAS®氣體探測器由四部分構(gòu)成：主機架、安裝托架底座、傳感器盒和機殼。圖1顯示了MIDAS®的總配置圖。另外，還有一個用于NF3探測的可選熱解器模塊和用于連接外部4-20mA裝置的可選模擬模塊。泵模塊位于主機架的背面。它通過（連接到位于主機架的前面的傳感器暗盒腔）在線過濾器從進氣口（位 于安裝托架總成底部）吸入氣體樣品。然后氣體樣品通過位于安裝托架總成底部的排氣口被排出。泵和過濾器總成的設(shè)計應(yīng)本著便于替換的原則傳感器暗盒腔位于顯示屏模塊下方的主機架前方的位置。插入式傳感器盒就安裝于該區(qū)域，實現(xiàn)了傳感器盒和其他電子部件的電連接，同時供給暗盒腔（傳感器盒暴露的區(qū)域）樣品氣體。傳感器盒安裝的詳細(xì)內(nèi)容安裝托架總成包括探測器安裝托架、終端模塊、氣體樣品進氣口和出氣口、電纜/電線引入裝置和以太網(wǎng)通訊插座。金屬安裝托架具有兩個溝槽，可以使用兩個合適的定位螺絲輕易地將探測器安裝到墻面上。關(guān)于探測器安裝的詳細(xì)信息終端模塊位于安裝托架上。所有到MIDAS®的電連接都是通過該模塊實現(xiàn)的。到終端模塊區(qū)域的線接入是通過位于安裝托架總成底部的PG16電纜/電線引入裝置完成的。可以將各式各樣的毒氣、可燃?xì)怏w或氧氣傳感器盒安裝到MIDAS®上。插入式傳感器盒位于主機架前方的傳感器暗盒腔內(nèi)。要進入該腔內(nèi)，可通過旋開位于探測器前方的翼形螺釘移除機殼即可。如同無需任何工具就可以輕易插入探測器內(nèi)一樣，可以輕易地安裝或替換預(yù)校準(zhǔn)只能傳感器盒。某些傳感器盒出廠時配有一個電池動力電源，旨在保持電池有效地“預(yù)熱"并在安裝入MIDAS®儀器中時隨時進行監(jiān)測。偏壓電池供應(yīng)用于TEOS、NO和O3。偏置電路在插入MIDAS®系統(tǒng)前被移除，因而傳感器盒可隨時用于有效的氣體探測。  

如果未使用偏電壓（例如，電源故障期間），那么在開始有效的氣體探測前，電池將需要較長的時間恢復(fù)。  

外加電源損失的時間越長，恢復(fù)時間就越長。關(guān)于每個傳感器盒的信息，請參考相關(guān)的傳感器盒數(shù)據(jù)表。  

為了避免由于不可預(yù)見電源損失帶來的氣體探測損失風(fēng)險，我們建議使用電源管理解決方案，例如：不間斷電源、電池備援，等等。  

備注：如果傳感器盒由未授權(quán)人員打開，那么傳感器報修單將無效機殼能提供環(huán)境保護功能并安裝于主機架的頂端、前部和側(cè)面。前面板具有用于LCD、LED和傳感器盒 （安裝在傳感器暗盒腔內(nèi)）的瀏覽窗口。LCD窗口下是4個按鈕，可用于操作探測器軟件菜單。可以很容易地移除機殼從而進入機架，只需旋開前面板上的翼形螺釘并向前推機殼，直至脫離主機架即可。便于安裝起見，MIDAS®的設(shè)計允許安裝托架總成和終端模塊獨立于探測器的其他零部件。因此，可以在安裝探測器主機架和傳感器盒前完成探測器的定位和硬布線。MIDAS®是設(shè)計用于室內(nèi)安全區(qū)域無爆炸大氣中進行安裝和使用的。所進行的安裝必須符合相關(guān)國家的相關(guān)機構(gòu)的標(biāo)準(zhǔn)。執(zhí)行任何安裝之前，確保遵守當(dāng)?shù)胤ㄒ?guī)和駐地規(guī)程。在安裝MIDAS®氣體探測器時，下面是一些應(yīng)考慮的因素：  

1.將探測器安裝在適于其面積和重量的水平且堅固的表面上。  

2.使用提供的鉆孔模板鉆孔用于固定接頭。  

3.使用適于所選表面安裝的固定接頭。  

4.確保固定接頭的頭圍不會妨礙終端PCB。  

5.考慮電線/電纜的重要和其安裝應(yīng)力。  

6.定位該探測器以便可以輕易訪問。  

7.定位該探測器以便其處于可清晰查看顯示器的合適的高度（正常情況下到眼睛的高度）。  

8.考慮移除探測器機殼和鎖定/解鎖傳感器盒鎖箍所需的空間。  

9.考慮樣品進口和排氣管道（遠程監(jiān)測）和進口過濾器（本地監(jiān)測）所需的空間。  

10.考慮電纜或電線接入所需的空間。  

下列步驟和圖示講述了如何將安裝托架總成從主機架上分離并將其安裝到垂直平面上。  

1.旋開位于前面板上的翼形螺釘。  

2.將機殼向前推直至脫離主機架，以此來移除機殼。  

3.旋開位于機架底部前側(cè)的固定螺釘。  

4.使用一只手固定住安裝托架總成，使用另一支手小心向前推主機架，直到從安裝托架總成上斷連為止。  

5.使用提供的鉆孔模板鉆兩個垂直分開的58.50mm的孔，用于2x圓頭M4固定螺釘。  

6.部分地將固定接頭旋入安裝面。  

7.將安裝托架總成置于螺釘上方，以便它們通過該安裝孔，然后滑下定位在槽中。  

8.旋緊螺釘，固定安裝托架總成。  

MIDAS®氣體探測器也可用于監(jiān)測位于探測器位置的氣體。可以將一個在線過濾器連接到傳感器盒進氣口  

便能輕易實現(xiàn)該功能。部件編號為780248的外部濾塵器可用于正常氣體，部件編號為1830-0055的可用  

于腐蝕性氣體。然后，便開始監(jiān)測探測器周圍的區(qū)域，這與從遠程位置吸取的樣品相反。  

電線到終端模塊的接入是通過位于安裝托架總成底部的PG16電纜夾套實現(xiàn)的。如果需要，可以移除電纜夾套并使用合適的導(dǎo)管配件進行替換 所用的終端適用于24到14AWG（直徑0.5到1.8mm）的導(dǎo)體。我們建議使用16AWG(直徑1.5mm) 的導(dǎo)體。  

備注：當(dāng)使用以太網(wǎng)加電（PoE）通電時，3個插件式繼電器不需要獨立的24VDC上電。  

當(dāng)使用以太網(wǎng)加電（PoE）為裝置通電時，禁止將24VDC電源連接到裝置上，（或相反地，如果使用24VDC給MIDAS®供電，那么禁止通過以太網(wǎng)端口供電。）如果不遵守該要求，則可能給氣體探測系統(tǒng)帶來損害，也因此不會在標(biāo)準(zhǔn)保修單保修范圍內(nèi)。  

當(dāng)連接線路時，務(wù)必確保電源開關(guān)處于關(guān)閉位置。  

圖11顯示了終端模塊示意圖和終端標(biāo)識以及跳線的位置。診斷LED燈被置于內(nèi)部主機架中，便于瀏覽。  

這些顯示出以太網(wǎng)通訊處于活躍狀態(tài)。在MIDAS®的某些版本中，后端安裝的以太網(wǎng)加電端口具有兩盞LED狀態(tài)指示燈；請注意：這些是不能利用的，切勿點亮。  

如果MIDAS®儀器主機架沒有直接連接到金屬表面進行接地，則需要一條附加的地線。通過PG16電纜夾套將線連接到位于底部托架上的專用接地牌（螺絲接線端），并將線的另一端連到專用外接地點。  

如果使用以太網(wǎng)加電（PoE）電源，那么我們推薦使用屏蔽CAT5以太網(wǎng)電纜。  

請確保您的布線要避免接地環(huán)路，否則可能影響您設(shè)備的性能。  

MIDAS®的加電方式有兩種：通過傳統(tǒng)的分立連線的24VDC；來自PoE通過以太網(wǎng)電纜傳輸?shù)拇蠹s48 VDC。4-20mA模擬輸出裝置可用于上述任何一種情形。這可以被配置用于匯、源或絕緣操作。下面是一些典型電連接配置原理圖。

可以按照下列步驟對主機架進行改裝，使其適合安裝托架總成。  

1.將位于主機架頂端后部的PCB和位于安裝托架總成頂端的連接器對齊。  

2.在進行上一步的同時，將位于主機架頂端后部的兩個管和位于安裝托架總成底部的兩個管對齊。  

3.將機架向后滑向安裝托架總成，以便PCB、連接器和管同時嚙合。（見下圖）  

4.將主機架水平向后推向安裝托架總成，確保PCB、連接器和嚙合。  

(警告：不要開啟LCD，否則，可能會導(dǎo)致?lián)p壞)。  

5.將位于機架底部的兩個固定螺釘和安裝托架總成上的螺紋對齊。  

6.旋緊螺釘，以便將機架固定到安裝托架總成上。  

MIDAS®傳感器盒是單獨供應(yīng)的，需要安裝到探測器的主機架上。下面的步驟和圖示詳細(xì)描述了安裝傳感器盒的程序。執(zhí)行該程序時，應(yīng)關(guān)閉電源，移除探測器機殼。  

1.拆包，取出傳感器盒  

2.檢查傳感器盒的零部件編號和型號是否正確  

3.通過日期檢查觸發(fā)  

4.將位于傳感器頂端的銷釘和傳感器暗盒腔中的插座對齊  

5.小心將傳感器盒推入傳感器暗盒腔直到吻合  

6.使用傳感器盒的任何一邊的定位片將傳感器盒鎖定到位，從而將傳感器盒鎖定到主機架上  

7.將位于終端模塊上的電源開關(guān)切換到“開"位置  

8.將任何一邊的槽和安裝托架總成上的定位片對其，重裝探測器機殼

9.水平推機殼，直至吻合  

10.旋緊位于前面板上的翼形螺釘  

警告：

執(zhí)行任何作業(yè)前，確保遵守本地和現(xiàn)場程序。確保相關(guān)的控制面板處于禁止?fàn)顟B(tài)，以便防止錯誤報警。  

認(rèn)真遵守下列程序，正確培訓(xùn)過的人員才能執(zhí)行該程序。  

1.確保探測器按照第5.6和5.7部分正確布線。  

2.確保安裝正確的傳感器盒。（如果傳感器盒未以室溫存儲，則首先拿出一個小時進行（溫度）平衡）。  

3.確保安裝托架總成上的開/關(guān)開關(guān)處于“開"位置。  

4.為系統(tǒng)供電。  

5.啟動程序之后，探測器將顯示正常的操作模式，如第7部分所示。  

6.如果使用一個多氣體傳感器盒，請參考第8.2.2部分，確保選擇正確的氣體標(biāo)識碼。  

7.將傳感器穩(wěn)定后，使用下表以確定最大的傳感器盒預(yù)熱時間。  

等待氣體的讀數(shù)恢復(fù)至正常的級別。這可能會耗費一些時間，尤其是當(dāng)使用了高于推薦級別的濃度或者測試的氣體的使用時間延長了。  

確保所有在測試中產(chǎn)生的任何鎖存的故障或報警都已經(jīng)清除。  

確認(rèn)氣體探測系統(tǒng)已經(jīng)恢復(fù)至正常操作狀態(tài)并且在測試中使用過的任何控制系統(tǒng)的優(yōu)先級都已經(jīng)被撤銷。  

測試產(chǎn)生的報警將記錄在發(fā)送器的歷史日志里面。  

解決問題：  

如果測試結(jié)果并非令人滿意，則請檢查以下幾點：  

1.檢查氣體鋼瓶上的濃度及類型是否正確。  

2.檢查鋼瓶的截止日期。  

3.檢查鋼瓶中余下的氣體是否足夠。  

4.檢查測試系統(tǒng)是否有泄漏。  

5.檢查管道的長度是否足夠短并且內(nèi)部是否有堵塞。  

6.確認(rèn)在測試開始之前發(fā)送器并沒有顯示故障。  

19保證聲明。  

所有的產(chǎn)品都由ZellwegerAnalytics在由*的質(zhì)量管理系統(tǒng)下根據(jù)新的的國際認(rèn)可的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)  

計并生產(chǎn)。  

據(jù)此，我們從儀器開始運轉(zhuǎn)的第一天起的24個月內(nèi)向原始終端用戶買方保證該儀器（包括泵）在恰當(dāng)?shù)氖褂们闆r下的原料及使用的質(zhì)量。對于傳感器盒的單獨質(zhì)保使用限制如下。在此期間內(nèi)，ZellwegerAnalytics會根據(jù)交換原則對不合格的部件進行維修或更換，F(xiàn).O.B.到許可的*維修中心。  

本質(zhì)保不適用于因事故、濫用、非正常操作狀況或傳感器盒的毒化所造成的損壞。  

有缺陷的貨物必須由買方自費退還給ZellwegerAnalytics并附上詳細(xì)的缺陷性質(zhì)陳述報告。買方必須在歸還的貨物的包裝上清楚詳細(xì)地寫上維修事件碼（SE#），并且維修事件碼（SE#）應(yīng)該由買方事先聯(lián)系ZellwegerAnalytics而取得。  

如果沒有該報告則ZellwegerAnalytics將在進行任何修理或更換之前保留收取檢查費的權(quán)利（價格根據(jù)要求而定）。  

ZellwegerAnalytics不對在無論任何情況下或以任何形式可能由買方或任何一方因直接或間接使用或操作合同貨物而造成的任何損失或損壞負(fù)任何法律責(zé)任。  

本質(zhì)保只適用于由經(jīng)過授權(quán)的經(jīng)銷商、銷售商及由ZellwegerAnalytics的代表賣給買方的氣體探測器及部件。質(zhì)保的要求只有在提交了購買證明并且所有狀況都符合本質(zhì)報才能接受。按照ZellwegerAnalytics的觀點，當(dāng)質(zhì)保要求有效時，ZellwegerAnalytics將會免費修理或更換有缺陷的產(chǎn)品并將該產(chǎn)品或任何更換品寄回。  

初始保修期不會由于其中執(zhí)行的任何工作而被延長。  

修理部件或更換部件應(yīng)該由ZellwegerAnalytics決定。  

作為一個提取式氣體取樣系統(tǒng)，MIDAS氣體探測器能在本地或從一個遠程點提取一個樣品到位于探測器機架內(nèi)的傳感器盒。可以提供較廣范圍的毒氣、可燃?xì)怏w和氧氣傳感器盒，以便實現(xiàn)半導(dǎo)體和其他生產(chǎn)工業(yè)中使用或產(chǎn)生的氣體探測。  

MIDAS是用于墻面安裝的，能夠通過自身背光LCD和LED顯示氣體濃度、報警、故障信息。位于顯示屏下方的簡便易用的4按鈕鍵盤為設(shè)置，瀏覽，操作和更改探測器配置提供了便利。  

MIDAS標(biāo)配有內(nèi)置的靈活電源和通訊能力。其中包括3個插件繼電器、0-22mA模擬輸出裝置、Modbus/TCP、信號和服務(wù)連接輸出裝置以及革新的以太網(wǎng)供電（PoE）協(xié)議，該協(xié)議實現(xiàn)了所有電源、控制和通訊要求的單一以太網(wǎng)連接。  

MIDAS®氣體探測器由四部分構(gòu)成：主機架，傳感器盒和機殼。顯示了MIDAS®的總配置圖。另外，還有一個用于NF3探測的可選熱解器模塊和用于連接外部4-20mA裝置的可選模擬模塊。泵模塊位于主機架的背面。它通過（連接到位于主機架的前面的傳感器暗盒腔）在線過濾器從進氣口（位于安裝托架總成底部）吸入氣體樣品。然后氣體樣品通過位于安裝托架總成底部的排氣口被排出。泵和過濾器總成的設(shè)計應(yīng)本著便于替換的原則。傳感器暗盒腔位于顯示屏模塊下方的主機架前方的位置。插入式傳感器盒就安裝于該區(qū)域，實現(xiàn)了傳感器盒和其他電子部件的電連接，同時供給暗盒腔（傳感器盒暴露的區(qū)域）樣品氣體。安裝托架總成包括探測器安裝托架、終端模塊、氣體樣品進氣口和出氣口、電纜/電線引入裝置和以太網(wǎng)通訊插座終端模塊位于安裝托架上。所有到MIDAS®的電連接都是通過該模塊實現(xiàn)的。到終端模塊區(qū)域的線接入是通過位于安裝托架總成底部的PG16電纜/電線引入裝置完成的?？梢詫⒏魇礁鳂拥亩練?、可燃?xì)怏w或氧氣傳感器盒安裝到MIDAS®上。插入式傳感器盒位于主機架前方的傳感器暗盒腔內(nèi)。要進入該腔內(nèi)，可通過旋開位于探測器前方的翼形螺釘移除機殼即可。如同無需任何工具就可以輕易插入探測器內(nèi)一樣，可以輕易地安裝或替換預(yù)校準(zhǔn)只能傳感器盒。某些傳感器盒出廠時配有一個電池動力電源，旨在保持電池有效地“預(yù)熱"并在安裝入MIDAS®儀器中時隨時進行監(jiān)測。偏壓電池供應(yīng)用于TEOS、NO和O3。偏置電路在插入MIDAS®系統(tǒng)前被移除，因而傳感器盒可隨時用于有效的氣體探測。如果未使用偏電壓（例如，電源故障期間），那么在開始有效的氣體探測前，電池將需要較長的時間恢復(fù)。外加電源損失的時間越長，恢復(fù)時間就越長。關(guān)于每個傳感器盒的信息，請參考相關(guān)的傳感器盒數(shù)據(jù)表。為了避免由于不可預(yù)見電源損失帶來的氣體探測損失風(fēng)險，我們建議使用電源管理解決方案，例如：不間斷電源、電池備援，等等。備注：如果傳感器盒由未授權(quán)人員打開，那么傳感器報修單將無效。機殼能提供環(huán)境保護功能并安裝于主機架的頂端、前部和側(cè)面。前面板具有用于LCD、LED和傳感器盒（安裝在傳感器暗盒腔內(nèi)）的瀏覽窗口。LCD窗口下是4個按鈕，可用于操作探測器軟件菜單?？梢院苋菀椎匾瞥龣C殼從而進入機架，只需旋開前面板上的翼形螺釘并向前推機殼，直至脫離主機架即可。作為標(biāo)準(zhǔn)件，MIDAS®氣體探測器是工廠預(yù)先配置的，具體如下：表1.MIDAS®默認(rèn)配置。