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布魯克Bruker Dektak XT探針式輪廓儀

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品       牌

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所  在  地深圳市

更新時間:2022-05-10 11:23:31瀏覽次數(shù):48次

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DektakXT®探針式輪廓儀采用革命性的臺式設(shè)計,可實現(xiàn) 4? (0.4nm) 的的重復(fù)性,掃描速度可提高 40%。探針式輪廓儀性能的這一重大里程碑是 Dektak® 五十多年創(chuàng)新和地位的。DektakXT 結(jié)合了一的技術(shù)和設(shè)計,可提供的性能、易用性以及價值,實現(xiàn)從研發(fā)到質(zhì)量控制的更好過程監(jiān)控。DektakXT 的技術(shù)突破為微電子、半導(dǎo)體、太陽能、高亮度 LED、醫(yī)療和材料科學(xué)行業(yè)的關(guān)鍵尺寸的納米級表面測量提供支持。

布魯克bruker輪廓儀 利用*的直接驅(qū)動掃描樣品臺,將測量時間加快 40%,同時保持行業(yè)的性能。Vision64 是布魯克的 64 位并行處理操作和分析軟件,能夠更快地加載 3D 形貌文件,并更快地應(yīng)用篩選器和多區(qū)域數(shù)據(jù)庫分析。

單拱門結(jié)構(gòu)設(shè)計使 布魯克bruker輪廓儀 更堅固,從而將環(huán)境噪音的影響降至低。DektakXT 升級的"智能電子設(shè)備"可降低溫度變化的影響,并采用現(xiàn)代處理器,大限度地減少噪聲水平,使其成為能夠測量<10nm 臺階高度的更強(qiáng)大的系統(tǒng)。

布魯克的 Vision64 軟件通過提供直觀、簡化的用戶可視化界面,加入到 DektakXT 的創(chuàng)新設(shè)計。智能架構(gòu)和可自定義自動化功能相結(jié)合,可實現(xiàn)快速、全面的數(shù)據(jù)收集和分析。無論您是使用分析腳本對單個掃描結(jié)果進(jìn)行分析,還是應(yīng)用自定義篩選器設(shè)置和計算,DektakXT 的數(shù)據(jù)分析器都能顯示當(dāng)前分析結(jié)果,同時顯示其他可能的分析工具。

DektakXT 的自對齊探針組件允許用戶快速輕松地更換不同探針,同時消除換針中的任何潛在風(fēng)險。布魯克提供廣泛的探針尺寸和形狀,幾乎滿足任何應(yīng)用需求。

DektakXT 能夠快速輕松地設(shè)置和運行自動化的多樣品測量模式,以可重復(fù)性驗證整個晶圓表面薄膜的精確厚度。這種有效的監(jiān)控可以通過提高測試通量來節(jié)省寶貴的時間和金錢。

  布魯克Bruker Dektak XT探針式輪廓儀 (圖1)



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