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德國SENresearch 4.0擁有寬光譜范圍的光譜橢偏儀 產品關鍵詞:寬光譜橢偏儀;sen光譜;光譜橢偏儀senresearch40

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更新時間:2024-11-04 17:01:32瀏覽次數:17次

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德國SENresearch4.0:擁有寬光譜范圍的光譜橢偏儀新的SENresearch4.0設計用于光譜橢偏儀,在寬的光譜范圍從190nm(深紫外)到3,500nm(近紅外)

德國SENresearch 4.0:擁有寬光譜范圍的光譜橢偏儀



新的SENresearch 4.0設計用于光譜橢偏儀,在寬的光譜范圍從190nm(深紫外)到3,500 nm(近紅外)。每一臺SENresearch 4.0都是客戶特定的橢偏光譜解決方案。SENresearch 4.0可以配置用于全穆勒矩陣、各向異性、廣義橢偏、散射測量等。使用步進掃描分析器原理實現測量結果。



寬光譜范圍和高光譜精度

SENresearch 4.0 光譜橢偏儀覆蓋寬的光譜范圍,從190 nm(深紫外)到3500 nm(近紅外)。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達200μm的厚膜。



雙補償器2C全穆勒矩陣測量

通過創(chuàng)新的雙補償器2C設計擴展了步進掃描分析器SSA原理,允許測量全穆勒矩陣。該設計是可現場升級和實現成本效益的附件。





沒有光學器件運動(步進掃描分析器原理)

為了獲得測量結果,在數據采集過程中沒有光學器件運動。步進掃描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的一個特性。


SpectraRay/4綜合橢偏儀軟件

SpectraRay/4 是用于材料分析的全功能軟件包。SpectraRay/4 包括用于與引導圖形用戶界面進行研究的交互模式和用于常規(guī)應用的配方模式。



SENresearch 4.0 是SENTECH新的光譜橢偏儀。每一臺SENresearch 4.0光譜橢偏儀都是根據客戶具體配置的光譜范圍、選項和現場可升級附件而制造的。



SENresearch 4.0 使用快速的傅立葉紅外光譜儀FTIR測量至2500 nm或3500 nm的近紅外光譜。它提供了寬的光譜范圍,具有的信噪比,可選擇的光譜分辨率??蓽y量硅薄膜厚度高達200μm。傅立葉紅外光譜儀FTIR的測量速度與二極管陣列配置相比,也可選擇高達1700納米。


新的金字塔形狀的自動角度計具有從20度到100度的角度范圍。光學編碼器確保精度和角度設置的長期穩(wěn)定性。光譜橢偏儀手臂可以獨立移動,用于散射測量和角度分辨透射測量。



SENresearch 4.0 根據步進掃描分析器(SSA)原理進行操作。SSA將強度測量與機械運動分離,從而允許分析更加粗糙的樣品。所有光學部件在數據采集期間都處于靜止狀態(tài)。此外,SENresearch 4.0 包括用于自動掃描和同步應用的快速測量模式。



定制的SENresearch 4.0橢偏儀可以配置用于標準和高級應用。例如介電層堆疊、紋理表面、光學和結構(3D)各向異性樣品。為各種各樣的應用提供了預定義的配方


SpectraRay/4 是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的綜合軟件。它包括兩種操作模式:配方模式和交互模式。配方模式允許輕松執(zhí)行常規(guī)應用程序。交互式模式通過交互式圖形用戶界面引導通過橢偏測量。



SpectraRay/4 提供了光譜橢偏儀測量和分析的所有工具。














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