美國 Harrich PDC-MG 高集成度等離子清洗機(jī) 是一款超清洗設(shè)備 返回列表頁

美國 Harrich PDC-MG 高集成度等離子清洗機(jī)

技術(shù)參數(shù)：

1.整機(jī)規(guī)格：500×300×300（長×寬×高）mm

2.整機(jī)重量：35 Kg
3.清洗艙規(guī)格：Φ165×L210 mm (耐熱玻璃)
4.清洗艙有效容積：4.5 L

5.輸入電源：220 V／50 Hz
6.整機(jī)輸入功率：400 W
7.射頻輸出：0～150 W（連續(xù)可調(diào)）
8.射頻頻率：13.56 MHz

9.數(shù)字式定時(shí)器范圍：0～99.99 min

10.極限真空度：60 Pa

11.二路浮子流量計(jì)：0.2~1.5L/min量程，方便二種氣體按比例混合

12.觀察窗：觀察清洗倉內(nèi)輝光狀態(tài)

13.常用工作氣體：空氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w

14.VRD-8型單相真空泵