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美國 Harrick PDC-32G-2 基本型等離子清洗機

基本參數(shù)：

主要特征：
臺式設計，結構緊湊精致
低、中、高三檔可調節(jié)功率，可為18W
設備輻射小，安全環(huán)保

外形尺寸：8.5"H x 10"W x 8"D（215mm x 254mm x 203mm）

重量：6.0kg

輸入電源： 220 V／50Hz

輸入功率： 100 W

功率檔：
低檔680V DC、10mA DC、6.8W
中檔700V DC、15mA DC、10.5W
高檔720V DC、25mA DC、18W



基本配置：
直徑3英寸，長6.5英寸的耐熱玻璃艙體。
可拆卸艙蓋。
為18W的RF線圈。
1/8英寸NPT針閥
1/8英寸NPT三通閥

選配件：
石英等離子清洗艙
石英托盤（用于放置樣品）
常用工作氣體：
空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等 氣體計量混合器Plasma FloTM

周邊設備：
基本型專用真空泵（PDC-VPE-2）

可選件：

選件一：氣體計量混合器PlasmaFloTM

功能及配置簡介：
1、Harrick PlasmaFloTM氣體計量混合器是一臺可任選的以滿足客戶的不同需求的備件。主要應用于樣品的表面改性。
2、在等離子清洗過程中氣體流混合和壓力監(jiān)視。
3、為向艙內(nèi)注入兩種氣體提供了可能。
4、含兩個標準的氣體流量計(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
5、溫差電偶真空度表測量艙內(nèi)壓力
6、適用氣體：空氣、氮氣、氬氣或混合氣體。
7、尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
8、訂貨號：PDC-FMG-2

選件二：真空泵
Harrick等離子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm)，壓力為200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。Harrick 提供兩種可選型號：
1、PDC-VP-2 (220V)
抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
極限壓力(氣鎮(zhèn)關)：1.5 mTorr
極限壓力(氣鎮(zhèn)開)：23 mTorr
電機功率：(50/60 Hz): 250/300 W
重量: 34 lbs
尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
2、PDC-VPE-2 (220V) 抽真空速度(50/60 Hz): 5.1 m3/hr
極限壓力(氣鎮(zhèn)關): 7.5 mTorr
極限壓力(氣鎮(zhèn)開: 150 mTorr
電機功率(50/60 Hz): 373 W
重量: 27 lbs
尺寸: 9 3/4"H x