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德國海德堡 VPG+800/VPG+1400大幅面掩膜版制作激光光刻機

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更新時間:2024-11-04 19:16:06瀏覽次數(shù):102次

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VPG+800/VPG+1100/VPG+1400大尺寸超高速圖形發(fā)生器TheMulti-PurposeVolumePatternGenerators光學系統(tǒng)上的創(chuàng)新與突破-平行化曝光制程技術制版系統(tǒng)VPG+大尺寸曝光系統(tǒng)適合用于封裝,半導體,顯示器,彩色濾光片,LED和觸摸屏等相關掩膜版制作的應用

VPG+800 / VPG+1100 / VPG+1400
大尺寸超高速圖形發(fā)生器
The Multi-Purpose Volume Pattern Generators


光學系統(tǒng)上的創(chuàng)新與突破-平行化曝光制程技術制版系統(tǒng)

VPG +大尺寸曝光系統(tǒng)適合用于封裝,半導體,顯示器,彩色濾光片,LED和觸摸屏等相關掩膜版制作的應用。

VPG +系統(tǒng)支持所有工業(yè)等級數(shù)據(jù)化格式,并提供Mura優(yōu)化功能,呈現(xiàn)的CD均勻性和分辨率。

VPG + 1400是我們大的系統(tǒng),特別針對顯示器領域和FPD的應用,例如TFT數(shù)組和彩色濾光片以及ITO。

VPG + 1400具有高精度的設備架構,分辨率低至1.2 nm的差分干涉儀及的Mura校正功能。

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