德國海德堡 VPG+800/VPG+1400大幅面掩膜版制作激光光刻機 返回列表頁

VPG+800 / VPG+1100 / VPG+1400
大尺寸超高速圖形發(fā)生器
The Multi-Purpose Volume Pattern Generators

光學系統(tǒng)上的創(chuàng)新與突破-平行化曝光制程技術制版系統(tǒng)

VPG +大尺寸曝光系統(tǒng)適合用于封裝，半導體，顯示器，彩色濾光片，LED和觸摸屏等相關掩膜版制作的應用。

VPG +系統(tǒng)支持所有工業(yè)等級數(shù)據(jù)化格式，并提供Mura優(yōu)化功能，呈現(xiàn)的CD均勻性和分辨率。

VPG + 1400是我們大的系統(tǒng)，特別針對顯示器領域和FPD的應用，例如TFT數(shù)組和彩色濾光片以及ITO。

VPG + 1400具有高精度的設備架構，分辨率低至1.2 nm的差分干涉儀及的Mura校正功能。