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德國(guó)Diener 等離子蝕刻機(jī)Tetra 8 RIE
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更新時(shí)間:2024-11-04 21:04:52

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德國(guó)Diener等離子蝕刻機(jī)Tetra8RIE用途:表面清洗活化表面蝕刻Tetra8RIE產(chǎn)品特點(diǎn):適用于8"以下樣品的處理等離子蝕刻機(jī)

德國(guó)Diener 等離子蝕刻機(jī)Tetra 8 RIE




用途:



表面清洗活化

表面蝕刻




Tetra 8 RIE 產(chǎn)品特點(diǎn):





適用于8"以下樣品的處理

等離子蝕刻機(jī),可實(shí)現(xiàn)快速且一致的樣品表面刻蝕

全局的工藝氣體通過(guò)氣浴進(jìn)氣實(shí)現(xiàn)了均勻的氣體分布

電極水冷確保了樣品的溫度不會(huì)偏高

工業(yè)Windows控制系統(tǒng),多段程序控制功能,實(shí)現(xiàn)一鍵蝕刻功能

適合于研究院、高校、研發(fā)中心等使用,也可小批量生產(chǎn)

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