數(shù)字量氣體質(zhì)量流量計采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設(shè)定的電壓進行比較，用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

數(shù)字量氣體質(zhì)量流量計由質(zhì)量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路組成，采用數(shù)字信號輸入輸出，具有預(yù)熱時間短，零漂小，可靠性高等特點。

流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成。