美國(guó)API XD激光干涉儀

美國(guó)API XD激光干涉儀

美國(guó)API激光干涉儀XD Laser的技術(shù)參數(shù)：

1．API激光干涉儀1D激光主要可以測(cè)量定位誤差

2．API激光干涉儀3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）

3．API激光干涉儀5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

4．API激光干涉儀5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型

美國(guó)API激光干涉儀5D/6D技術(shù)參數(shù)：

1) 線性：0.5ppm .

2) 測(cè)量范圍：40米（1D可選80米）

3) 線性分辨力：0.001um.

4) 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值

5) 范圍：800角秒

6) 滾動(dòng)角精度：1.0角秒

7) 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值

8) 直線度范圍：500um

9) 垂直度精度：1角秒

10) 溫度精度：0.2攝氏度

11) 濕度精度：5%

12) 壓力精度：1mmHg

激光干涉儀XD Laser的特點(diǎn)：

1．同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

2．設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器

3．可選的無(wú)線遙控傳感器的控制距離可到25米

4．可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。

5．全套系統(tǒng)重量?jī)H15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架

6．集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間