高頻射頻電源 XR-P10030 DC Unit 返回列表頁

SHINDENGEN 高頻射頻電源 XR-P10030 DC Unit 是高頻射頻發(fā)生器的DC電源供電組件，性能高效可靠，與SHINDENGEN射頻電源配套使用，廣泛的運用在CVD、PECVD等半導(dǎo)體制程中。設(shè)備整體采用緊湊設(shè)計，能夠有效的降低客戶的使用成本。

SHINDENGEN 高頻射頻電源 XR-P10030 DC Unit 技術(shù)參數(shù)

品牌：SHINDENGEN

型號：XR-P10030L-C1

AC Input：200~220V ~ ±10%，7.8kVA，50/60Hz，3 phase~

Output（DC Unit）：VO 40V~170A；POW1 +15V~6A，-15V~0.3A；POW2 24V~1.5A

通信接口：RF CONT，EXT. CONT，RS-232C，Pr moni

散熱方式：水冷散熱

進水要求：水流速度4.2L/min以上

設(shè)備重量：31kg

售后服務(wù)：本公司有完善的售后服務(wù)保障體系，產(chǎn)品一律由本公司特制的防爆箱裝箱承運，方便快捷，減小客戶因停機更換電源所帶來的損失。若電源設(shè)備在保修期內(nèi)因質(zhì)量問題發(fā)生損壞下機，可免費返修。此外本公司擁有備機數(shù)量龐大的備機庫，設(shè)備型號齊全，客戶機器送修期間，可以通過設(shè)備租賃保證產(chǎn)線的正常工作。