MKS 射頻電源 LVF3527A 27MHz 3500W 返回列表頁

MKS 射頻電源 LVF3527A 27MHz 3500W RF Generator 是經(jīng)過長期驗證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應用的業(yè)界前沿的可重復電源。MKS 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設備主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。MKS LVF系列射頻電源能夠實現(xiàn)對射頻輸出的精準控制，具有優(yōu)良的成膜能力，在半導體薄膜工藝中有廣泛應用。

MKS 射頻電源 LVF3527A 27MHz 3500W 參數(shù)規(guī)格

設備品牌：MKS                                                                              

設備型號：LVF3527A

AC Input：3 phase~ PE，208V，30A，50/60Hz

RF Output：27MHz，3500W

通信接口：RS-232C，Remote Panel，Analog I/O

設備散熱：風冷+水冷散熱

水冷進水需求：水冷流速2Gal/min（7.5L/min），水溫 5℃~35℃，Max 水壓60PSI（414kPa）

設備重量：32kg（70lbs）