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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>> DAIHEN RTGA-30ADAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W
MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW
ASE 射頻電源 APG-3000PRO RF Generator
DAIHEN 射頻電源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000
| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號 | 2L39-000009-13 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | DAIHEN | 型號 | RTGA-30A |
| P/N | 2L39-000009-13 | 頻率 | 12.88MHz |
| 輸出功率 | 3500W | 設備狀態(tài) | Refurbished |
DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W RF Generator是經過現(xiàn)場長期驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源，該系列射頻電源能夠對射頻輸出實施精準控制，被廣泛的應用在濺射、CVD、PECVD、蝕刻等半導體制程中。RTGA 系列射頻電源具有優(yōu)良可靠的成膜能力，成膜速度快，運用于半導體制程薄膜工藝中，可以一定程度上提升產線效率和產品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊的外觀設計，能夠降低客戶的使用成本。
DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W參數(shù)規(guī)格
設備品牌：DAIHEN
設備型號：RTGA-30A
AC 電源輸入：3 phase~ ，200V，27A，50/60Hz
RF 射頻輸出：12.88MHz，3500W
通訊接口：DeviceNet，Debug，Analog I/F
設備散熱：風冷+水冷散熱
水冷進水需求：MAX Torque 30N·m
設備重量：48.5kg
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