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氣體 流量 雙閥 壓力計(jì) 壓力控制器 EPC
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更新時(shí)間:2024-09-29 21:00:07

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氣體 流量 雙閥 壓力計(jì) 壓力控制器 EPC
集成兩個(gè)電磁閥,進(jìn)氣閥將過程氣體引入腔體,保持密閉空間的壓力,壓力過高時(shí),泄壓閥自行打開進(jìn)行泄壓,
快速精準(zhǔn)地控制壓力的穩(wěn)定,同時(shí)避免氣體浪費(fèi)。

氣體  流量 雙閥 壓力計(jì) 壓力控制器 EPC


一、產(chǎn)品概述:

       ACU20PCD雙閥壓力控制器集成兩個(gè)電磁閥,進(jìn)氣閥將過程氣體引入腔體,保持密閉空間的壓力,壓力過高時(shí),泄壓閥自行打開進(jìn)行泄壓,快速精準(zhǔn)地控制壓力的穩(wěn)定,同時(shí)避免氣體浪費(fèi)。


ACU20PCD雙閥壓力控制器標(biāo)配一個(gè)壓力傳感器和數(shù)字電路板,提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制,該P(yáng)C數(shù)字板具有控制壓力所需的所有功能。除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號,還提供模擬量輸入/出信號,可通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個(gè)工藝過程。同時(shí),可觸控顯示屏使操作更加便捷。


ACU20PCD雙閥壓力控制器可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥,具有超快和平穩(wěn)控制的特性。我們有不同系列的控制閥對應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域。常規(guī)應(yīng)用使用標(biāo)準(zhǔn)的直接操控閥,高流速應(yīng)用使用先導(dǎo)閥,穩(wěn)壓和泄壓應(yīng)用雙閥。


二、產(chǎn)品應(yīng)用:

應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體生產(chǎn)、科研實(shí)驗(yàn)、生物醫(yī)藥、能源化工、泄漏測試、燃料電池、真空鍍膜及過程控制等。


氣體  流量 雙閥 壓力計(jì) 壓力控制器 EPC

三、產(chǎn)品參數(shù):

技術(shù)參數(shù)精度(包括線性和滯后性)±0.5%F.S
壓力控制器1:20

重復(fù)性≤0.1%
傳感器響應(yīng)時(shí)間0.2s
控制穩(wěn)定性≤±0.05%F.S(測定條件:1 L/min N2)
運(yùn)行溫度-10~+70℃
溫度敏感性0.1%FS/℃
漏率1×10-9 SCCS He
方位影響度
(90°變化)
<0.03 KPa(絕壓/表壓傳感器)
<0.6 KPa(差壓傳感器)
預(yù)熱時(shí)間忽略不計(jì)

機(jī)械部件材質(zhì)不銹鋼
工藝連接G3/8"
密封材質(zhì)氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/其他
防護(hù)等級(外殼)IP40


電氣特性電源15~24Vdc
數(shù)字輸出RS485/RS232
電氣連接DB9



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