一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及 材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/AS-ME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

二、產(chǎn)品功能

1、設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、 角度等輪廓尺寸測(cè)量功能;

2、測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、 自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

3、測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、 定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;

4、分析中提供校平、 圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5、分析中提供粗糙度分析、 幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6、分析中同時(shí)提供- 鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。