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參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號AES-4535
品 牌LNEYA/無錫冠亞
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地無錫市
更新時(shí)間:2024-01-07 18:51:06瀏覽次數(shù):888次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 化工儀器網(wǎng)光刻機(jī)冷卻機(jī)組保養(yǎng)維護(hù)須知
半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護(hù)保養(yǎng)要細(xì)節(jié)
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
---|---|---|---|
冷卻方式 | 風(fēng)冷式 | 儀器種類 | 一體式 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車 |
型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
溫度范圍 | -45℃~225℃ | -60℃~225℃ | -80℃~225℃ | -100℃~225℃ | -120℃~225℃ | |
制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
-60℃ | 2kW | |||||
-80℃ | 1.5kW | |||||
-100℃ | 1.2kW | |||||
-120℃ | 1.2kW | |||||
溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度:5℃~32℃ 0~50%RH | |||||
空氣處理能力 | 7m³/h ~ 25m³/h 壓力5bar~7.6bar | |||||
系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)(高壓、低壓) 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
控制器 | 西門子PLC,模糊PID控制算法 | |||||
溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
可編程 | 可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟 | |||||
通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有) | |||||
溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
壓縮機(jī) | 法國泰康/艾默生 | |||||
蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥) | |||||
操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
安全防護(hù) | 具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù);高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
外型尺寸(風(fēng))cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
外型尺寸(水)cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
水冷冷凝器 | 板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔) | |||||
冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035) | |||||
溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ |
蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求
蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求
根據(jù)其結(jié)構(gòu),蝕刻液冷卻裝置可分為三種類型:活塞式(或往復(fù)式)、旋轉(zhuǎn)式(包括螺旋式、轉(zhuǎn)子式和滑動(dòng)式)和離心式(或渦輪式)。
同時(shí),由于潤滑油的蒸發(fā),也可能進(jìn)入系統(tǒng)與制冷劑混合?;旌虾蟮臐櫥痛蟛糠挚梢酝ㄟ^分離器分離,少量仍隨制冷劑進(jìn)入冷卻器等設(shè)備。隨著溫度的降低,潤滑油冷凝并粘附在冷卻器和系統(tǒng)的管壁上,形成油膜,降低了傳熱效果,提高了冷藏室的溫度。另一方面,高壓制冷劑氣體也可能泄漏到潤滑油中,稀釋潤滑油。
蝕刻液冷卻裝置油的性能要求,適當(dāng)?shù)恼扯?。蝕刻液冷卻裝置油的粘度除了保證運(yùn)動(dòng)部件摩擦面的良好潤滑性外,還需要帶走蝕刻液冷卻裝置的部分熱量,起到密封作用。如果蝕刻液冷卻裝置中使用的制冷劑與蝕刻液冷卻裝置油有很大的混溶性,應(yīng)考慮高粘度的油,以克服潤滑油被制冷劑稀釋的影響。
因?yàn)槲g刻液冷卻裝置的工作溫度變化很大,影響設(shè)備換熱的話應(yīng)檢查不溶于蝕刻液冷卻裝置油的制冷劑含量,含量越低越好。這種檢查方法可以檢查油中不同熔點(diǎn)的石蠟和可能的樹脂物質(zhì)的含量是否符合要求。絮凝點(diǎn)也是一個(gè)使用性能指標(biāo),用來檢查在一定溫度下,蝕刻液冷卻裝置油和制冷劑的混合液中沉淀的石蠟可能會(huì)析出不溶性物質(zhì)。蝕刻液冷卻裝置油的絮凝點(diǎn)不得高于蒸發(fā)器的蒸發(fā)溫度。
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