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當(dāng)前位置:無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司>>元器件高低溫測(cè)試機(jī)>>蝕刻機(jī)用冷水機(jī)>> AES-4535光刻機(jī)用冷水機(jī)組油堵故障知識(shí)分享
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)AES-4535
品 牌LNEYA/無(wú)錫冠亞
廠(chǎng)商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地無(wú)錫市
更新時(shí)間:2024-01-07 19:21:23瀏覽次數(shù):1910次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 化工儀器網(wǎng)光刻機(jī)冷卻機(jī)組保養(yǎng)維護(hù)須知
半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護(hù)保養(yǎng)要細(xì)節(jié)
蝕刻機(jī)水冷機(jī)需要注意的選購(gòu)細(xì)節(jié)有哪些
光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些
產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) |
---|---|---|---|
冷卻方式 | 風(fēng)冷式 | 儀器種類(lèi) | 一體式 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車(chē) |
型號(hào) | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
溫度范圍 | -45℃~225℃ | -60℃~225℃ | -80℃~225℃ | -100℃~225℃ | -120℃~225℃ | |
制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
-60℃ | 2kW | |||||
-80℃ | 1.5kW | |||||
-100℃ | 1.2kW | |||||
-120℃ | 1.2kW | |||||
溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度:5℃~32℃ 0~50%RH | |||||
空氣處理能力 | 7m³/h ~ 25m³/h 壓力5bar~7.6bar | |||||
系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)(高壓、低壓) 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上 | |||||
控制器 | 西門(mén)子PLC,模糊PID控制算法 | |||||
溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
可編程 | 可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟 | |||||
通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有) | |||||
溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
壓縮機(jī) | 法國(guó)泰康/艾默生 | |||||
蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件(干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥) | |||||
操作面板 | 無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線(xiàn)顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
安全防護(hù) | 具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù);高壓壓力開(kāi)關(guān),過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
外型尺寸(風(fēng))cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
外型尺寸(水)cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
水冷型 W | 帶W型號(hào)為水冷型 | |||||
水冷冷凝器 | 板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔) | |||||
冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035) | |||||
溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ |
光刻機(jī)用冷水機(jī)組油堵故障知識(shí)分享
光刻機(jī)用冷水機(jī)組油堵故障知識(shí)分享
光刻機(jī)用冷水機(jī)組產(chǎn)生油堵的主要原因:壓縮機(jī)缸體磨損嚴(yán)重或活塞與氣缸配合間隙過(guò)大所致。
隨光刻機(jī)用冷水機(jī)組壓縮機(jī)排汽油被排入冷凝器,進(jìn)而隨同制冷劑一起進(jìn)入干燥過(guò)濾器,由于油的粘度較大,被過(guò)濾器內(nèi)的干燥劑阻住,油過(guò)多時(shí)在過(guò)濾器處形成堵塞,使制冷劑不能正常循環(huán),制冷設(shè)備不制冷。
造成光刻機(jī)用冷水機(jī)組其他管路堵塞的原因是:在焊接管路時(shí)被焊料堵塞;或在更換管子時(shí)所更換的管子本身已堵塞而未發(fā)現(xiàn),以上堵塞都是人為因素造成,因此要求在焊接和更換管子時(shí),應(yīng)按要求進(jìn)行操作和檢查,就不會(huì)造成人為堵塞故障了。
光刻機(jī)用冷水機(jī)組油堵故障的排除:產(chǎn)生油堵故障,說(shuō)明在光刻機(jī)用冷水機(jī)組內(nèi)殘存有過(guò)多的冷凍機(jī)油,以致影響制冷效果,甚至不能制冷,因此須將系統(tǒng)內(nèi)的冷凍機(jī)油清除干凈。
光刻機(jī)用冷水機(jī)組過(guò)濾器油堵時(shí)應(yīng)更換新過(guò)濾器,同時(shí)用高壓氮?dú)獯党隼淠鲀?nèi)積存的部分冷凍機(jī)油,在通入氮?dú)鈺r(shí)可用電吹風(fēng)機(jī)加熱冷凝器。
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