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當(dāng)前位置：無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司>>元器件高低溫測試機>>蝕刻機用冷水機>> AES-4535工業(yè)光刻機冷卻系統(tǒng)冷水機開機停機事項
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號AES-4535
品 牌LNEYA/無錫冠亞
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地無錫市
更新時間：2024-01-07 19:37:18瀏覽次數(shù)：2362次
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半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護保養(yǎng)要細節(jié)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷式 | 儀器種類 | 一體式 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車 |
| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機 | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機采用德國EBM軸流風(fēng)機 | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 溫度擴展 | 高溫到 +300℃ | |||||
工業(yè)光刻機冷卻系統(tǒng)冷水機開機停機事項
工業(yè)光刻機冷卻系統(tǒng)冷水機開機停機事項
一、光刻機冷卻系統(tǒng)冷水機的使用注意事項：
1）光刻機冷卻系統(tǒng)冷水機組的正常開、停機須嚴(yán)格按照光刻機冷卻系統(tǒng)冷水機廠家提供的操作說明書的步聚進行操作。
2）機組在運行過程中，應(yīng)及時、正確地做好參數(shù)的記錄工作，如出現(xiàn)報警停機，應(yīng)及時通知相關(guān)人員對機組進行檢查，如無法排除故障，可以直接與光刻機冷卻系統(tǒng)冷水機廠家聯(lián)系。
3）機組在運行過程中嚴(yán)禁將水流開關(guān)短接，以免凍壞水管。機房應(yīng)有專門的工作人員負(fù)責(zé)，嚴(yán)禁閑雜人員進入機房，操作機組。
4）機房應(yīng)配備相應(yīng)的靠譜防護設(shè)備和維修檢測工具，如壓力表、溫度計等，工具應(yīng)存放在固定位置。
二、光刻機冷卻系統(tǒng)冷水機組停機注意事項
1）機組在停機后應(yīng)切斷主電源開關(guān)。在停機時期間，應(yīng)該將機組全部遮蓋，防止積灰，與機組無關(guān)的人員不得接觸機器。
2）如機組處于長期停機狀態(tài)期間，應(yīng)將冷水、冷卻水系統(tǒng)的內(nèi)部積水全部放凈，防止產(chǎn)生銹蝕。水室端蓋應(yīng)密封住。
3）機組長期停機時，應(yīng)做好維修保養(yǎng)工作。
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溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
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