邊緣刻蝕單通道chiller 離子注入工序制冷返回列表頁

參考價: ￥ 156280

訂貨量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號LTS-202

品牌冠亞制冷

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地無錫市

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更新時間：2024-01-11 10:29:14瀏覽次數(shù)：437次

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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	價格區(qū)間	10萬-50萬
冷卻方式	水冷式	儀器種類	一體式
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥,汽車

產(chǎn)地類別

國產(chǎn)

價格區(qū)間

10萬-50萬

冷卻方式

水冷式

儀器種類

一體式

應(yīng)用領(lǐng)域

化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥,汽車

無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司的半導(dǎo)體控溫解決方案

主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體專?溫控設(shè)備、射流式?低溫沖擊測試機(jī)和半導(dǎo)體??藝廢?處理裝置等?設(shè)備，

?泛應(yīng)?于半導(dǎo)體、LED、LCD、太陽能光伏等領(lǐng)域。

【冠亞制冷】半導(dǎo)體行業(yè)主營控溫產(chǎn)品：

半導(dǎo)體專溫控設(shè)備

射流式?低溫沖擊測試機(jī)

半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備chiller

Chiller氣體降溫控溫系統(tǒng)

Chiller直冷型

循環(huán)風(fēng)控溫裝置

半導(dǎo)體?低溫測試設(shè)備

電?設(shè)備?溫低溫恒溫測試?yán)錈嵩?/span>

射流式高低溫沖擊測試機(jī)

快速溫變控溫卡盤

數(shù)據(jù)中心液冷解決方案

型號	FLT-002	FLT-003	FLT-004	FLT-006	FLT-008	FLT-010	FLT-015
型號	FLT-002W	FLT-003W	FLT-004W	FLT-006W	FLT-008W	FLT-010W	FLT-015W
溫度范圍	5℃～40℃
控溫精度	±0.1℃
流量控制	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
制冷量at10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R410A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等（DI溫度需要控制10℃以上）
進(jìn)出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/h	2m3/h	2.5m3/h	4m3/h	4.5m3/h	5.6m3/h	9m3/h
電源380V	3.5kW	4kW	5.5kW	7kW	9.5kW	12kW	16kW
溫度擴(kuò)展	通過增加電加熱器，擴(kuò)展-25℃～80℃

液冷790_01.jpg

邊緣刻蝕單通道chiller 離子注入工序制冷

半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制造過程中準(zhǔn)確控制反應(yīng)室的溫度。半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備利用制冷循環(huán)和工藝?yán)鋮s水的熱交換原理通過對半導(dǎo)體工藝設(shè)備使用的循環(huán)液的溫度、流量和壓力進(jìn)行控制，以實現(xiàn)半導(dǎo)體工藝制程的控溫需求，是集成電路制造過程中的關(guān)鍵設(shè)備。

半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備（Chiller）依據(jù)不同工藝制程要求控制給定溫度的循環(huán)液流經(jīng)半導(dǎo)體工藝設(shè)備反應(yīng)腔內(nèi)，將熱量帶入半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備，半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備通過熱交換器將熱量傳遞給制冷劑，再通過制冷劑將熱量釋放給工藝?yán)鋮s水，從而實現(xiàn)對工藝制程的溫度控制。