本裝置為高真空蒸鍍?cè)O(shè)備，因此可對(duì)應(yīng)搭載JA Wollam公司制造的橢偏儀而開發(fā)設(shè)計(jì)的蒸鍍機(jī)。真空蒸鍍過程中，配設(shè)橢偏儀以取得相關(guān)物性物理資訊。（以下的規(guī)格是記載除橢偏儀以外的高真空蒸鍍機(jī)規(guī)格）

本蒸發(fā)鍍膜裝置搭載的是JA Wollam公司的橢偏儀，真空腔大小：280x410x290mm，蒸發(fā)源：2個(gè)，基板尺寸：80x80mm

鍍膜機(jī)可以按需定制，可蒸鍍金屬，有機(jī)物等。公司與日本常陽工學(xué)株式會(huì)社以及ALS公司合作，定制OLED，有機(jī)光伏等方向的實(shí)驗(yàn)線，小試線，中試線，以及各類真空生產(chǎn)線。相關(guān)真空技術(shù)源自佳能Tokki的原工程師團(tuán)隊(duì)，設(shè)備精密穩(wěn)定可靠。

Reference:

D.Yokoyama, K.Nakayama, T.Otani, and J.Kido: Adv.Mater. 24,6368(2012)