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產(chǎn)品簡介
探針臺可吸附多種規(guī)格芯片與器件，并提供多個(gè)可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成對有機(jī)半導(dǎo)體器件的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。該類儀器主要通過連接儀器及待測物實(shí)現(xiàn)器件的參數(shù)提取，通過自帶的驅(qū)動及測試軟件能夠獨(dú)立實(shí)現(xiàn)器件的電學(xué)特性測試，為精密器件提供一個(gè)良好的系統(tǒng)平臺。
詳細(xì)介紹
通過探針接觸的方法給器件施加光電信號來測量半導(dǎo)體器件伏安特性（即電壓-電流特性）的儀器，在測量及選用半導(dǎo)體器件時(shí)有著廣泛的用途。
1、探針臺系統(tǒng)
1-1載物臺XY行程：200x200mm，帶鎖死功能，Z軸行程：10mm，移動分辨率為1um
1-2 載物臺采用多圈吸附環(huán)固定樣品，真空吸附，真空開關(guān)獨(dú)立控制，四個(gè)
2、顯微鏡系統(tǒng) Motic PSM-1000
2-1長工作距離，四孔物鏡轉(zhuǎn)盤
2-2總放大倍數(shù)：50x-1000x
3、測試及屏蔽系統(tǒng)
3-1 探針座XYZ移動范圍：12.5mm x 12.5mm x 12.5mm
3-2配置主動氣浮式防震桌尺寸：1200mm x 800mm x 800mm
3-3 配置低噪無油空壓機(jī)和真空泵
探針臺