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探針臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)
閱讀：729 發(fā)布時(shí)間：2023-10-23
探針臺(tái)又稱探針測(cè)試臺(tái)，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)材料、芯片等進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)分析，抽查測(cè)試等用途。簡(jiǎn)易型組合式探針臺(tái)結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用，成本較低的簡(jiǎn)易式探針臺(tái)，在滿足基本測(cè)試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺(tái)探針座，四維調(diào)整載片臺(tái)（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；譜量光電可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺(tái)，以達(dá)到更好得使用效果和性價(jià)比。
維護(hù)與保養(yǎng)：
平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)， 動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)，由于動(dòng)子和定子間無相對(duì)摩擦故無磨損，使用壽命長(zhǎng)。
相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái)，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺(tái)由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。