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探針臺的維護(hù)與保養(yǎng)

閱讀:790        發(fā)布時間:2023-10-23

探針臺又稱探針測試臺,主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對材料、芯片等進(jìn)行科研實驗分析,抽查測試等用途。簡易型組合式探針臺結(jié)構(gòu)小巧,功能實用,成本較低的簡易式探針臺,在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上,去除了非必要得部件,該探針臺系統(tǒng)包含:光學(xué)成像部分,隔振平臺探針座,四維調(diào)整載片臺(Chuck),真空吸附系統(tǒng);譜量光電可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺,以達(dá)到更好得使用效果和性價比。

維護(hù)與保養(yǎng):
平面電機(jī)由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺, 動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。
相對于平面電機(jī)工作臺,絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。


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