FETS-2000是一款功能豐富的鐵電參數(shù)測(cè)試儀，可廣泛地應(yīng)用于如各種鐵電/壓電/熱釋電薄膜、厚膜、體材料和電子陶瓷、鐵電傳感器/執(zhí)行器/存儲(chǔ)器等領(lǐng)域的研究。

鐵電參數(shù)測(cè)試主要性能指標(biāo)：

   a. 外接5 kV高壓放大器；

   b. 動(dòng)態(tài)電滯回線測(cè)試頻率范圍0.01 Hz ～ 1 kHz；

   c. 最大電荷解析度：10 mC

   d. 疲勞測(cè)試頻率300 kHz（振幅10 Vpp，負(fù)載電容1 nF）；

   e. 漏電流測(cè)量范圍 1 pA ～ 20 mA，分辨率0.1 pA；

   f. 配有高壓擊穿保護(hù)模塊。

   本測(cè)試系統(tǒng)由主控器、高壓放大器、變溫綜合測(cè)試平臺(tái)（配鐵電測(cè)試盒）或高低溫探針臺(tái)（配高壓探針）、計(jì)算機(jī)及系統(tǒng)軟件部分組成。主控器集成了可編程波形發(fā)生器、內(nèi)置驅(qū)動(dòng)電壓、電荷積分器、可編程放大器、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、通訊總線等功能，主控器提供擴(kuò)展外置高壓放大器接口，可擴(kuò)展±5 kV或±10 kV的高壓放大器。系統(tǒng)軟件包括可視化數(shù)據(jù)采集和管理功能，測(cè)試時(shí)，無(wú)需改變測(cè)試樣品的連接，即可實(shí)現(xiàn)滯回，脈沖，漏電，IV等性能測(cè)試。

   本鐵電參數(shù)測(cè)試儀采用基于虛地模式的測(cè)量方法，與傳統(tǒng)的Sawyer- Tower模式相比，此電路取消了外接電容，可減小寄生元件的影響。此電路的測(cè)試精度僅取決于積分器積分電容的精度，減少了對(duì)測(cè)試的影響環(huán)節(jié)，容易定標(biāo)和校準(zhǔn)，并且能實(shí)現(xiàn)較高的測(cè)量準(zhǔn)確度。

該系統(tǒng)測(cè)試功能：

動(dòng)態(tài)電滯回線DHM

I-V特性

脈沖PUND

疲勞Fatigue

漏電流LM

電流-偏壓