掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope，SEM）,簡稱掃描電鏡，是功能強、用途廣的材料表征工具，已廣泛應(yīng)用于材料，冶金，礦物，生物學(xué)等領(lǐng)域。掃描電子顯微鏡主要由五大系統(tǒng)組成，即電子光學(xué)系統(tǒng)、信號探測處理和顯示系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng)。

1 電子光學(xué)系統(tǒng)

由電子槍，電磁透鏡，掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束，作為信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率，掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。

2 信號收集及顯示系統(tǒng)

檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號，然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號。現(xiàn)在普遍使用的是電子檢測器，它由閃爍體，光導(dǎo)管和光電倍增器所組成。

3 樣品室

主要部件是樣品臺。它能夾持一定尺寸的樣品，并能使樣品進行三維空間的移動，還能傾斜和轉(zhuǎn)動,以利于對樣品上每一特定位置進行各種分析。

4 真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作，防止樣品污染，一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。

5 電源系統(tǒng)

電源系統(tǒng)由穩(wěn)壓，穩(wěn)流及相應(yīng)的安全保護電路所組成，其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。