掃描電子顯微鏡是一種高分辨率的顯微鏡，利用電子束與樣品相互作用并檢測所產生的各種信號來觀察樣品的表面形貌和組成。
 

　　掃描電子顯微鏡的工作原理：
 

　　1、電子源：使用的電子源通常是熱發(fā)射陰極或場發(fā)射陰極，通過加熱或施加高電壓來產生高能電子。
 

　　2、聚焦系統(tǒng)：聚焦系統(tǒng)由幾個透鏡組成，用于控制電子束的聚焦和定位。
 

　　3、高真空環(huán)境：工作時需要在高真空環(huán)境中進行，以避免電子束與氣體分子的碰撞散射，影響圖像質量。
 

　　4、樣品臺：樣品被放置在樣品臺上，可以水平或傾斜放置，以便于不同角度的觀察和分析。
 

　　5、掃描線圈：掃描線圈用于控制電子束的掃描范圍和速度，通過逐點掃描樣品表面來獲取圖像。
 

　　6、檢測系統(tǒng)：當電子束與樣品交互作用時，會產生多種信號，包括二次電子、反射電子、散射電子和X射線等。這些信號被檢測器捕獲并轉換為電信號。
 

　　7、顯示與記錄系統(tǒng)：經(jīng)過放大、處理和轉換后的電信號可通過顯示器展示，并可用于數(shù)字圖像記錄和分析。
 

　　掃描電子顯微鏡的儀器結構：
 

　　1、電子源：通常是用鎢絲或石墨作為陰極的熱發(fā)射電子槍，或者采用針尖形式的場發(fā)射電子槍。
 

　　2、準直系統(tǒng)：準直系統(tǒng)由一系列聚焦和透鏡組成，用于將電子束聚焦到樣品表面上的一個小點。
 

　　3、樣品臺：樣品臺提供樣品支撐和位置調節(jié)功能，并通常具有旋轉和傾斜能力，以便于不同角度的觀察和分析。
 

　　4、掃描線圈：掃描線圈控制電子束的移動，沿著樣品表面進行逐點掃描，以獲取完整的圖像。
 

　　5、檢測系統(tǒng)：檢測系統(tǒng)包括二次電子檢測器和反射電子檢測器。二次電子檢測器用于獲取樣品表面形貌信息，反射電子檢測器則用于獲取樣品的晶體結構和成分信息。
 

　　6、控制與顯示系統(tǒng)：控制系統(tǒng)用于控制SEM的各個參數(shù)和操作模式，顯示系統(tǒng)用于將獲取的圖像顯示在監(jiān)視器上。
 

　　掃描電子顯微鏡通過將高能電子束聚焦到樣品表面，并探測所產生的信號，實現(xiàn)對樣品的高分辨率觀察和分析。其儀器結構包括電子源、準直系統(tǒng)、樣品臺、掃描線圈、檢測系統(tǒng)和控制與顯示系統(tǒng)。在材料科學、生命科學、納米技術等領域具有廣泛應用，為研究者提供了一種強大的工具來研究微生物。