Helios 5 Hydra DualBeam
離子源可提供以下四種快速、可切換離子種類，應(yīng)用空間最為廣泛：Xe、Ar、O、N

Helios 5 Hydra DualBeam

具有多個(gè)離子種類、適用于 3D EM 和 TEM 樣品制備的等離子聚焦離子束掃描電子顯微鏡檢查

Helios 5 Hydra DualBeam主要特點(diǎn)

應(yīng)用空間廣泛

離子源可提供以下四種快速、可切換離子種類，應(yīng)用空間最為廣泛：Xe、Ar、O、N

高通量和高質(zhì)量

使用下一代 2.5 μA 等離子 FIB 色譜柱進(jìn)行高通量、高質(zhì)量和統(tǒng)計(jì)學(xué)相關(guān)的 3D 表征、交叉切片和微加工。

先進(jìn)的自動(dòng)化

使用選配的 AutoTEM 5 軟件，以最快速輕松的方式實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化多點(diǎn)原位和非原位 TEM 樣品制備以及交叉切片

高質(zhì)量樣品制備

由于采用新型 PFIB 色譜柱，可實(shí)現(xiàn) 500 V 最終拋光以及在所有操作條件下均可提供出色的性能，可以用氙、氬或氧進(jìn)行高質(zhì)量無(wú)鎵 TEM 和 APT 樣品制備。

納米級(jí)實(shí)現(xiàn)周期短

借助 SmartAlign 和 FLASH 技術(shù)，任何經(jīng)驗(yàn)水平的用戶都可以最短時(shí)間獲得納米級(jí)信息

完整的樣品信息

可通過(guò)多達(dá)六個(gè)集成在色譜柱內(nèi)和透鏡下的集成探頭獲得清晰、精確且無(wú)電荷對(duì)比度的最完整的樣品信息

電子和離子束誘導(dǎo)沉積和蝕刻

通過(guò)選配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 氣輸送系統(tǒng)，在 DualBeam 系統(tǒng)上實(shí)現(xiàn)的電子和離子束誘導(dǎo)沉積和蝕刻功能。

精確的樣品導(dǎo)航

借助 150 mm 壓電載物臺(tái)的高穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性或 110 mm 載物臺(tái)的靈活性以及選配的腔室內(nèi) Thermo Scientific Nav-Cam 攝像機(jī)，可根據(jù)具體應(yīng)用需求進(jìn)行定制。

無(wú)偽影成像

基于集成的樣品清潔度管理和專用成像模式，例如 SmartScan 和 DCFI 模式

性能數(shù)據(jù)

	Helios 5 Hydra CX DualBeam	Helios 5 Hydra UX DualBeam
電子束分辨率	在最佳 WD： 1 kV 時(shí) 0.7 nm 500 V (ICD) 時(shí) 1.0 nm 在重合點(diǎn)： 15 kV 時(shí) 0.6 nm 1 kV 時(shí) 1.2 nm
電子束參數(shù)空間	電子束電流范圍：在所有加速電壓下 0.8 pA 至 100 nA 加速電壓范圍：350 V – 30 kV 著陸能量范圍：20* eV – 30 keV 最大水平射野寬度：4 mm WD 時(shí) 2.3 mm
離子光學(xué)系統(tǒng)	高性能 PFIB 色譜柱，具有的電感耦合等離子 (ICP) 源，支持四種離子種類，并具有快速切換能力離子種類（初級(jí)離子束）：Xe、Ar、O、N 切換時(shí)間<10 分鐘，僅需軟件操作離子束電流范圍：1.5 pA 至 2.5 μA 加速電壓范圍：500V – 30 kV 最大水平射野寬度：在等離子束重合點(diǎn)處為 0.9 mm 重合點(diǎn)時(shí)的氙離子束分辨率 <使用統(tǒng)計(jì)方法在 30 kV 時(shí)為 20 nm 使用選擇性邊緣方法在 30 kV 時(shí)<10 nm
腔室	在分析 WD 時(shí)的 E 和 I 束重合點(diǎn) (4 mm SEM) 端口：21 內(nèi)部寬度：379 mm 集成式等離子清潔器
探頭	Elstar 色譜柱鏡筒內(nèi) SE/BSE 探頭（TLD-SE、TLD-BSE） Elstar 色譜柱柱內(nèi) SE/BSE 探頭 (ICD)* Everhart-Thornley SE 檢測(cè)器 (ETD) 查看樣品/色譜柱的 IR 攝像機(jī) 用于二級(jí)離子 (SI) 和二級(jí)電子 (SE) 的高性能腔室內(nèi)電子和離子探頭 (ICE) 腔室內(nèi) Nav-Cam 樣品導(dǎo)航攝像機(jī)* 可伸縮、低電壓、高對(duì)比度、定向、固態(tài)反向散射電子探頭 (DBS)* 集成的等離子束電流測(cè)量
載物臺(tái)和樣品	靈活的五軸電動(dòng)載物臺(tái)： XY 范圍：110 mm Z 范圍：65 mm 旋轉(zhuǎn)：360°（無(wú)限）傾斜范圍：-38° 至 +90° XY 重復(fù)性：3 μm 最大樣品高度：與共心點(diǎn)間距 85 mm 0° 傾斜時(shí)的最大樣品重量：5 kg（包括樣品架）最大樣品尺寸：旋轉(zhuǎn)時(shí) 110 mm（也可以是更大的樣品，但旋轉(zhuǎn)有限）計(jì)算中心旋轉(zhuǎn)和傾斜	高精度五軸電動(dòng)載物臺(tái)，配有壓電驅(qū)動(dòng)的 XYR 軸 XY 范圍：150 mm Z 范圍：10 mm 旋轉(zhuǎn)：360°（無(wú)限）傾斜范圍：-38° 至 +60° XY 重復(fù)性：1 μm 最大樣品高度：與共心點(diǎn)間距 55 mm 0° 傾斜時(shí)的最大樣品重量：500 g（包括樣品架）最大樣品尺寸：旋轉(zhuǎn)時(shí) 150 mm（也可以是更大的樣品，但旋轉(zhuǎn)有限）計(jì)算中心旋轉(zhuǎn)和傾斜

Helios 5 Hydra DualBeam

具有多個(gè)離子種類、適用于 3D EM 和 TEM 樣品制備的等離子聚焦離子束掃描電子顯微鏡檢查