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當(dāng)前位置:入江貿(mào)易(東莞)有限公司>>Vatvalve>> 61328-KAAH-0001vatvalve蝶形控制閥
61328-KAAH-0001
Vatvalve
經(jīng)銷商
東莞市
更新時間:2024-12-07 07:53:03瀏覽次數(shù):705次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)電動機功率 | 5kW | 外形尺寸 | 8*1mm |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,交通,汽車,電氣 | 重量 | 2kg |
vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAH-0001
真空和氣體流的高精度控制和隔離在半導(dǎo)體制造中是至關(guān)重要的。在上游和下游過程中,所有的閥門功能必須保證在大量的循環(huán)中具有精確的重復(fù)性。其結(jié)果是:在規(guī)定的時間間隔內(nèi)精確的體積流量和一致的、可靠的密封。VAT控制和隔離閥在此設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。
技術(shù)參數(shù):
尺寸
DN 25 (1")
驅(qū)動器
步進電機
材料
鋁
法蘭
ISO-KF
控制器配置
SPS
控制器接口+感應(yīng)器
RS232接口/2個感應(yīng)器
低壓力
1 × 10-8 mbar
最高壓力
1.2 bar (abs)
泄漏率
1 × 10-9 ls-1
循環(huán)直到第一次維修
2 000 000
最高溫度閥體
≤ 150 °C
密封
FKM
閘門上的壓差
≤ 1 bar
典型的關(guān)閉或開放時間
90 ms
最小可控電導(dǎo)率(N2分子流)
0.15 ls-1
最大電導(dǎo)率(N2分子流)
22 ls-1
重量
2.2 kg / 4.85 lbs
vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAH-0001
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