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Renishaw雷尼紹無(wú)內(nèi)置光學(xué)鏡干涉儀 RLD10-XX
將雷尼紹光纖傳導(dǎo)系統(tǒng)的性能和易用性與特定于應(yīng)用的光學(xué)鏡組配置相結(jié)合。
RLD包含多通道條紋檢測(cè)系統(tǒng)、激光光閘和內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡,因此輕松成為專業(yè)應(yīng)用的理想選擇。
RLD10-XX發(fā)射頭只有0°型號(hào)。
自定義光學(xué)解決方案 — 由于不包含內(nèi)置光學(xué)鏡,因此可配置RLD使用外部光學(xué)鏡以滿足一系列應(yīng)用的要求。
校準(zhǔn)測(cè)量 — 適合使用雷尼紹校準(zhǔn)光學(xué)鏡組系列,從而實(shí)現(xiàn)直線度、角度和線性測(cè)量。
真空兼容 — 還與RVI20兼容,可進(jìn)行兩個(gè)特征之間的相對(duì)測(cè)量。
平面鏡應(yīng)用 | 角錐反射鏡應(yīng)用 | |
軸行程 | 0 m至1 m | 0 m至4 m |
分辨率(使用RLU配置) | 模擬正交 = λ/4 (158 nm) 數(shù)字正交 = 10 nm RPI20分辨率 = 38.6 pm | 模擬正交 = λ/2 (316 nm) 數(shù)字正交 = 20 nm RPI20分辨率 = 77.2 pm |
系統(tǒng)非線性誤差* (SDE) *不含接口 | 低于50 mm/s且信號(hào)強(qiáng)度 > 70%時(shí) <±2.5 nm 1 m/s且信號(hào)強(qiáng)度 > 50%時(shí) <±7.5 nm | 低于100 mm/s且信號(hào)強(qiáng)度 > 70%時(shí) <±5 nm 2 m/s且信號(hào)強(qiáng)度 > 50%時(shí) <±13 nm |
最高速度 | 可達(dá)1 m/s | 可達(dá)2 m/s |
Renishaw雷尼紹無(wú)內(nèi)置光學(xué)鏡干涉儀 RLD10-XX
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