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nasgiken簡易微量金屬污染物回收裝置

時(shí)間：2025/7/26閱讀：44
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NASGiken的簡易微量金屬污染物回收裝置是一種專門用于半導(dǎo)體制造和納米技術(shù)領(lǐng)域中，從硅晶片表面和側(cè)面回收微量金屬污染物的設(shè)備。以下是關(guān)于該裝置的詳細(xì)介紹：

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 自動(dòng)化操作：設(shè)備可以自動(dòng)完成采樣液的供給、支架具的裝卸以及采樣液的回收，從而減少操作員引起的污染。
  • 多種采樣模式：通過與計(jì)算機(jī)聯(lián)機(jī)，可選擇豐富多樣的采樣模式，包括圓環(huán)形、扇形、固定半徑、圓弧等，還能對晶圓正面以及端面的微量金屬污染物進(jìn)行采樣操作。
  • 適用性廣泛：對于硅材質(zhì)以外的晶圓、由于基體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓也可進(jìn)行采樣操作。
  • 減少人為污染：采樣操作由設(shè)備自動(dòng)完成，無需熟練工就可輕松完成采樣操作。
  • 自動(dòng)清洗功能：具備自動(dòng)清洗盛裝收集液體的容器的功能，降低人為污染的風(fēng)險(xiǎn)，并減少工作人員之間分析準(zhǔn)確性的差異。

技術(shù)規(guī)格

  • 操作控制：通過電腦完成。
  • 外形尺寸：以SC-9200為例，其外形尺寸為690×550×790mm。
  • 重量：SC-9200的重量為55Kg。
  • 外部資源：需要電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源。

應(yīng)用場景

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中，對硅晶片進(jìn)行表面和側(cè)面的微量金屬污染物分析。適用于需要高精度和高效率分析的環(huán)境，如半導(dǎo)體制造廠、材料研究機(jī)構(gòu)等。

優(yōu)勢

  • 提高分析效率和準(zhǔn)確性：通過減少人為污染和提高采樣精度，有助于提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。
  • 專的利技術(shù)：擁有對硅晶圓端面污染物采樣的“端面采樣"技術(shù)已取得國際專的利，對親水晶圓的采樣技術(shù)也已取得國內(nèi)專的利。
  • 完善的售后服務(wù)：原則上，有海內(nèi)外的維修委托時(shí)，在48小時(shí)內(nèi)與用戶進(jìn)行聯(lián)系溝通。

型號(hào)對比

表格
設(shè)備名稱SC-3100SC-8150SC-9100SC-9200
操作控制電腦手動(dòng)自動(dòng)自動(dòng)
支架具的裝/卸自動(dòng)手動(dòng)自動(dòng)自動(dòng)
采樣液的供給自動(dòng)手動(dòng)自動(dòng)自動(dòng)
采樣液的回收自動(dòng)手動(dòng)自動(dòng)自動(dòng)
采樣基本模式圓環(huán)形、扇形、固定半徑、圓弧---
采樣追加模式端面、弧形、長方形---
晶圓排片對圓環(huán)形、固定半徑、端面采樣模式有追加項(xiàng)---
吸取式采樣〇-〇〇
親水面采樣-〇〇〇
外形尺寸(WxDxH)(mm)600×494×600600×494×700600×494×790690×550×790
重量35Kg40Kg50Kg55Kg
安裝環(huán)境無塵通風(fēng)柜內(nèi)---
所需外部資源電源(100～240VAC)、純凈水、干潔氣源電源(100～240VAC)、N2、干潔氣源電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源
NASGiken的簡易微量金屬污染物回收裝置以其高效的污染物收集能力、自動(dòng)化操作和技術(shù)，為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域提供了一種創(chuàng)新的解決方案。



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