產(chǎn)地類(lèi)別 |
國(guó)產(chǎn) |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
環(huán)保,化工,能源,電子,綜合 |
日本napson晶圓平面度測(cè)量系統(tǒng)FLA-200
支持厚度測(cè)量、PN判斷、溫度測(cè)量(硅晶圓)
自檢功能,測(cè)量范圍廣
厚度/周邊位置/溫度校正功能(電阻率(resistivity)測(cè)量)
可根據(jù)要求容納任意數(shù)量的包埋盒。
*可選:通訊軟件,兼容SMIF或FOUP
日本napson晶圓平面度測(cè)量系統(tǒng)FLA-200
日本napson晶圓平面度測(cè)量系統(tǒng)FLA-200的介紹
深圳九州工業(yè)品有限公司成立于2016年,坐落于年輕奮進(jìn)的深圳市,是一家工業(yè)品綜合服務(wù)商。主要包括機(jī)電設(shè)備、電子產(chǎn)品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷(xiāo)售及其它國(guó)內(nèi)貿(mào)易、經(jīng)營(yíng)進(jìn)出口等業(yè)務(wù)。聯(lián)合國(guó)際名品牌搭建工業(yè)品供應(yīng)鏈,采用與 MRO分銷(xiāo)商結(jié)盟的方式,把零散采購(gòu)訂單集中處理,流程簡(jiǎn)化,提供一站式供應(yīng)服務(wù)。在美國(guó)、德國(guó)、日本、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣建立采購(gòu)中心,以流的專(zhuān)業(yè)國(guó)際采購(gòu)團(tuán)隊(duì)、技術(shù)顧問(wèn)、銷(xiāo)售團(tuán)隊(duì)為各種領(lǐng)域提供各類(lèi)高品質(zhì)的工業(yè)產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的整合服務(wù)。通過(guò)與廠家建立快捷、有效的溝通,和眾多國(guó)外生產(chǎn)廠家建立了長(zhǎng)久合作伙伴關(guān)系。
非接觸式平面度和厚度測(cè)量系統(tǒng)。測(cè)量晶圓樣品的平整度(TTV、BOW、WARP)和厚度。
?支持厚度、TTV、BOW、翹曲、場(chǎng)地平面度和整體平面度的測(cè)量(符合 ASTM)
?2D、3D映射顯示軟件
?數(shù)據(jù)可以輸出為CSV文件
?5mmφ芯電容探頭高精度測(cè)量
?12,000點(diǎn)/60秒以?xún)?nèi)的高速測(cè)量
測(cè)量對(duì)象
?半導(dǎo)體及太陽(yáng)能電池材料(硅、多晶硅、SiC等)
?硅外延、離子注入樣品
?化合物半導(dǎo)體(GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等)
測(cè)量尺寸
測(cè)量范圍
厚度:200 –1200μm
彎曲度:+/-350μm
經(jīng)度:350μm