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鐳測科技Leice雙頻激光干涉儀LH1000雙頻激光干涉儀專為光刻機配套開發(fā)的高精度測量系統(tǒng)；
通過國家重大專項“極大規(guī)模集成電路制造技術及成套工藝"項目驗收。
采用直接輸出線偏振光的雙頻激光器；
非線性高精密測量系統(tǒng)，測量更精準；
可提供1~20MHz頻差內(nèi)任意頻差產(chǎn)品，滿足各種測量速度需要。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
專為光刻機配套開發(fā)的高精度測量系統(tǒng)；
通過國家重大專項“極大規(guī)模集成電路制造技術及成套工藝"項目驗收。
采用直接輸出線偏振光的雙頻激光器；
非線性高精密測量系統(tǒng)，測量更精準；
可提供1~20MHz頻差內(nèi)任意頻差產(chǎn)品，滿足各種測量速度需要。
光源和測量信號接收單元分體式設計，方便搭建XY位移臺等多軸測量系統(tǒng)；
精巧的測量信號光纖接收頭，即使空間狹小也能方便安裝；
標準光刻機干涉儀安裝尺寸和數(shù)據(jù)接口，可直接替換現(xiàn)有產(chǎn)品。
型號 | 頻差(MHz) | 最小出光功率(μW) | 光斑尺寸(mm) | 穩(wěn)頻精度(ppm) |
LH1000A | 1.5±0.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
LH1000B | 2.5±0.5 | > 500 | 6 | ±0.02 |
LH1000C | 3.5±0.5 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
LH1000D | 4.5±0.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000DL | 5.5±0.5 | > 500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000EL | 6.5±0.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
LH1000FL | 7.5±0.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000GL | 8.5±0.5 | > 500 | 9 | ±0.02 |
LH1000H | 9.5±0.5 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
LH1000I | 10.0-20.0(按需定制) | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
北京鐳測科技有限公司為您提供鐳測科技Leice激光干涉儀LH1000雙頻激光干涉儀的參數(shù)、價格、型號、原理等信息，鐳測科技Leice激光干涉儀LH1000雙頻激光干涉儀產(chǎn)地為北京、品牌為鐳測科技，型號為LH1000雙頻激光干涉儀，更多相關信息可聯(lián)系公司客服電話7*24小時為您服務！