HWN-L4新型納米激光直寫系統(tǒng)擅長wafer尺寸的研究開發(fā)和小批量生產(chǎn)

HWN-L4新型納米激光直寫系統(tǒng)是一款大面積、高精度、可套刻、超衍射極限加工的激光直寫系統(tǒng)，可用于晶圓尺寸的大面積微納加工，適用于各種微納結(jié)構(gòu)和器件制造、小批量微納器件生產(chǎn)等。該系列包括L50、L100等不同型號，具有功能強(qiáng)大、維護(hù)簡單、加工分辨率高、支持多種刻寫模式、支持多種受體材料等特征。另外，本系統(tǒng)在設(shè)計(jì)之初保留了充足的物理空間和硬件資源，以滿足后續(xù)功能升級換代的需求，使產(chǎn)品具有更長的生命周期。

蘇州華維納納米科技有限公司于2011年注冊成立的高科技創(chuàng)新型公司，主要從事新型納米光刻技術(shù)和無掩模納米光刻機(jī)的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化工作。