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LINTEC林泰克高溫熱交換器HX-0051H北崎熱賣

時間:2025/5/29閱讀:82
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小型氣體加熱器(熱交換器)

瞬間高效率流體加熱技術(shù)產(chǎn)品HX系列。

小型氣體加熱器的用途

  • 可加熱各種流體

  • 瞬間且穩(wěn)定的流體加熱

  • 質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱

各種流體加熱

該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質(zhì)的加熱模塊,加熱部分與流體不直接接觸,可以瞬間加熱沒有腐蝕性的流體。

瞬間且穩(wěn)定的流體加熱

在配管中流動的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點。

通常,配管中的流體通過配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點,即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心,從而達到穩(wěn)定加熱的目的。

質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱

在半導體制造工藝中,不僅需要對氣體進行加熱處理,氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設置質(zhì)量流量控制器以控制流量,加熱器(輸出端)則需采用低壓降結(jié)構(gòu)。LINTEC自主研發(fā)的HX系列加熱器具備低壓降結(jié)構(gòu),適合與質(zhì)量流量控制器輸出端連接使用。


高溫熱交換器HX-0051H

最高使用溫度達300℃的小型熱交換器。

特點

  • 面間距169㎜×長度177㎜的緊湊型設計

  • 可將20SLM的N2氣體加熱至300℃

  • 適合用于固體升華、液體汽化供給中的載氣加熱

HX-0051H

使用范例

液體汽化、固體升華中的載氣加熱

導入液體汽化器的載氣流量一旦超過5SLM,汽化室溫度就會降低,從而影響汽化效率。鼓泡法、固體升華同樣存在這一缺陷。要想使汽化或升華反應持續(xù)穩(wěn)定,對載氣進行溫度管理是必要的要素。HX-0051H系列熱交換器的最高使用溫度可達300℃,適合對載氣進行加熱。

規(guī)格表


流量(N2換算)壓力損失(N2)耐壓(G)使用溫度接觸氣體部位材質(zhì)
規(guī)格20SLM40kPa1MPa300℃SUS316L不銹鋼

※小型氣體加熱器、小型熱交換器的產(chǎn)品詳情請直接致電或郵件咨詢LINTEC。




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