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LINTEC林泰克小型熱交換器HX-0050A北崎熱賣

時(shí)間:2025/5/29閱讀:75
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小型氣體加熱器(熱交換器)

瞬間高效率流體加熱技術(shù)產(chǎn)品HX系列。

小型氣體加熱器的用途

  • 可加熱各種流體

  • 瞬間且穩(wěn)定的流體加熱

  • 質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱

各種流體加熱

該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質(zhì)的加熱模塊,加熱部分與流體不直接接觸,可以瞬間加熱沒有腐蝕性的流體。

瞬間且穩(wěn)定的流體加熱

在配管中流動的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點(diǎn)。

通常,配管中的流體通過配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點(diǎn),即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心,從而達(dá)到穩(wěn)定加熱的目的。

質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱

在半導(dǎo)體制造工藝中,不僅需要對氣體進(jìn)行加熱處理,氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設(shè)置質(zhì)量流量控制器以控制流量,加熱器(輸出端)則需采用低壓降結(jié)構(gòu)。LINTEC自主研發(fā)的HX系列加熱器具備低壓降結(jié)構(gòu),適合與質(zhì)量流量控制器輸出端連接使用。


小型熱交換器HX-0050A

可將50SLM的N2氣體加熱至200℃的小型熱交換器。

特點(diǎn)

HX-0050A

  • 面間距158㎜×長度80㎜×高80㎜的緊湊型設(shè)計(jì)

  • 最大流量50SLM

  • 最高使用溫度200℃

  • 接觸氣體部分接采用SUS316L不銹鋼材質(zhì),可加熱對其無腐蝕性的氣體

  • 真空、加壓條件下也可使用

使用范例

導(dǎo)入排除設(shè)備前的稀釋N2氣體加熱

防止蝕刻設(shè)備排氣管路堵塞

半導(dǎo)體制造設(shè)備和FPD(平板顯示器)制造設(shè)備情況下,反應(yīng)氣體被送到排除設(shè)備的過程中,會部分粘附在配管上形成堵塞。通常,用熱N2氣體稀釋是解決方法之一,但是僅通過管道外部帶狀加熱器加熱無法得到理想的效果。緊湊型熱交換器HX-0050A系列可充分加熱流體,最大限度減少此類堵塞問題的發(fā)生。

規(guī)格表


流量(N2換算)壓力損失(N2)耐壓(G)使用溫度接氣體部分材質(zhì)
規(guī)格50SLM9.8kPa1MPa200℃SUS316L不銹鋼

※小型氣體加熱器、小型熱交換器的產(chǎn)品詳情請直接致電或郵件咨詢LINTEC。




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