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對于使用真空的設(shè)備,選擇真空泵時(shí)應(yīng)考慮極限真空度和抽氣時(shí)間。但一般來說,隨著真空度的提高,抽速減慢,有的高真空泵不能在大氣壓下使用,所以真空泵不能單獨(dú)使用,而要組合使用。
例如,通過在“低真空高抽速泵"和“高真空泵"之間切換或同時(shí)使用它們,即使在高真空下也可以獲得一定的抽速。
具體的例子是用油回轉(zhuǎn)式抽真空至低真空(粗真空),然后改用機(jī)械增壓泵抽真空至高真空(主真空)。
此外,兩種類型的真空泵可以連接在一起,通過中/低真空泵,即使在大氣壓下也可以使用高真空泵。