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原則上,激光傳感器可以執(zhí)行非接觸式測量,但有幾種不同的方法。當(dāng)測量到物體的距離時(shí),使用漫反射或鏡面反射激光傳感器。兩者都是通過在被測量物體的表面上反射來自激光光源的光并用光接收部檢測反射光來測量距離。光接收區(qū)域具有一定的寬度,并且接收區(qū)域根據(jù)反射光的角度而不同。當(dāng)受光面積發(fā)生變化時(shí),就會(huì)檢測到相應(yīng)的電流,并將該信息轉(zhuǎn)換為距離值。由于其結(jié)構(gòu)的原因,如果光源入射到傾斜超過一定角度的被測物體表面,反射光將不會(huì)返回到光接收部分,從而無法被檢測到。這個(gè)允許的傾斜是由位移計(jì)的設(shè)計(jì)決定的,因此漫反射激光傳感器
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激光傳感器是一種非接觸式傳感裝置,利用激光來測量被測物體與傳感器之間的距離,以及物體本身的厚度和高度。由于它是常用的傳感設(shè)備,因此有多種測量方法和精度。激光傳感器的應(yīng)用如果您需要準(zhǔn)確地知道到被測量物體的距離,例如加工設(shè)備或運(yùn)輸設(shè)備,您可以使用激光傳感器來測量距離。也可用于需要測量被測物體厚度信息的場合,如產(chǎn)品外觀檢測等。厚度測量可以使用接觸式卡尺進(jìn)行,但如果形狀復(fù)雜或不方便觸摸,可以使用非接觸式激光傳感器進(jìn)行無損檢測。
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光梳是一種用于多種應(yīng)用的技術(shù)。1.原子鐘光梳對(duì)于高精度原子鐘至關(guān)重要。通過使用光梳,可以非常高精度地測量原子和分子的躍遷頻率。這提高了世界各地用作時(shí)間標(biāo)準(zhǔn)的原子鐘的準(zhǔn)確性。使用光梳的原子鐘對(duì)于GPS等衛(wèi)星定位系統(tǒng)的精確時(shí)間同步也很重要。2.光譜分析使用光梳進(jìn)行光譜分析對(duì)于分子躍遷和原子光譜的高分辨率觀察非常有用。這對(duì)于天體物理研究和核物理非常重要。用于探測大氣中的氣體和觀測天體光譜。3、通訊設(shè)備光梳用于生成用于高速數(shù)據(jù)通信的鎖相光脈沖。這使得穩(wěn)定的信息傳輸和高帶寬通信成為可能。近年來,還研究了使
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光頻梳是一種利用激光的特性以高的精度測量光的頻率和距離的技術(shù)。也稱為光學(xué)頻率梳。這項(xiàng)技術(shù)由2005年諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)獲得者TheodorHansture和JohnL.Hall開發(fā),在許多應(yīng)用中發(fā)揮著關(guān)鍵作用,包括高精度光學(xué)時(shí)鐘和光學(xué)頻率測量。光梳對(duì)光鐘的發(fā)展做出了巨大貢獻(xiàn),使極其精確的時(shí)間測量成為可能。這對(duì)于GPS等位置信息系統(tǒng)和科學(xué)研究來說極其重要。與高精度激光系統(tǒng)結(jié)合使用,也有助于促進(jìn)核物理研究。然而,光梳需要先進(jìn)的光學(xué)技術(shù),安裝和操作復(fù)雜,并且需要專業(yè)知識(shí)。因此,它們可能不容易在一般實(shí)驗(yàn)室或
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為了對(duì)大直徑晶圓和液晶進(jìn)行高速縮小投影曝光,步進(jìn)機(jī)使用短波長的光源以獲得高分辨率,并將IC掩模圖案投影并曝光在光罩上后,移動(dòng)平臺(tái)曝光晶圓的過程涉及重復(fù)多次圖案曝光。步進(jìn)機(jī)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)包括曝光光源、投影鏡頭、晶圓臺(tái)、晶圓裝載機(jī)等。由于IC大規(guī)模集成的需求,已開始使用波長較短的曝光光源。這是因?yàn)樾枰⌒突?,并且一般來說,用于曝光的光的波長越短,分辨率越高。在20世紀(jì)90年代,365nm的i線是主要焦點(diǎn),但此后波長變得更短,有Krf(波長248nm)和Arf(波長193nm)。晶圓載物臺(tái)是為了更快、更高
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步進(jìn)曝光機(jī)是一種用于光刻(半導(dǎo)體和液晶制造工藝)的投射曝光設(shè)備。隨著IC電路圖案的小型化,制作全尺寸光掩模圖案變得困難。這是指在對(duì)大于實(shí)際尺寸的掩模圖案進(jìn)行縮小投影曝光時(shí)進(jìn)行分步重復(fù)曝光的曝光設(shè)備步進(jìn)機(jī)是一種曝光設(shè)備,通過執(zhí)行步進(jìn)和重復(fù)來曝光整個(gè)待曝光區(qū)域。步進(jìn)機(jī)的使用步進(jìn)機(jī)用于半導(dǎo)體和液晶的制造,特別是用于光刻過程中使用掩模的曝光處理。步進(jìn)法包括步進(jìn)重復(fù)法和步進(jìn)重復(fù)法,其中,由于一次可以轉(zhuǎn)移的面積較小,因此在步進(jìn)時(shí)將晶圓順序曝光;以及步進(jìn)重復(fù)法,其中稱為掃描儀的標(biāo)線和存在一種使用步進(jìn)機(jī)進(jìn)行曝光
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描述船舶和飛機(jī)中使用的速度傳感器。當(dāng)測量船上相對(duì)于水的速度時(shí),使用利用多普勒效應(yīng)的速度傳感器。多普勒效應(yīng)是指當(dāng)聲源(注:與超聲波相比,無線電波和光在水下衰減顯著,因此幾乎無法使用)和傳感器彼此距離較近時(shí),檢測到的頻率會(huì)高于檢測到的頻率。沒有相對(duì)運(yùn)動(dòng),也指當(dāng)這些物體遠(yuǎn)離時(shí),感知頻率較低的現(xiàn)象。系統(tǒng)通過檢測該頻移(即水粒子的多普勒頻移)來計(jì)算水速。在飛機(jī)上,安裝在機(jī)身上的皮托管測量空速。皮托管通過其jian端的孔吸入空氣,并利用外部風(fēng)壓和當(dāng)?shù)卮髿鈮毫χg的差異來測量空速。另外,在實(shí)際的客機(jī)中,使用皮
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速度傳感器安裝在汽車、摩托車、鐵路車輛、船舶、飛機(jī)等車輛上,可以檢測和測量這些各種車輛的移動(dòng)速度。速度傳感器包括根據(jù)輪子的角速度(單位時(shí)間旋轉(zhuǎn)多少度)計(jì)算速度的方法、利用多普勒效應(yīng)檢測光波和聲波反射波之間的相位差的方法以及利用多普勒效應(yīng)根據(jù)輪子的角速度(單位時(shí)間旋轉(zhuǎn)多少)來測量速度。有皮托管可以測量物體的速度,GPS速度計(jì)則使用從軌道上的衛(wèi)星發(fā)送的信號(hào)。速度傳感器的用途如上所述,速度傳感器用于檢測和測量各種車輛的移動(dòng)速度。然而,船舶的運(yùn)行一般會(huì)受到很多外力且復(fù)雜,并且需要在港口等處小心操作(操縱