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桌面型離子真空濺射儀
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更新時(shí)間:2024-11-19 11:02:55

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桌面型離子濺射儀主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜(金膜),儀器操作簡(jiǎn)單方便,是配合SEM 制樣的儀器。設(shè)備配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空,在 20Pa 真空保護(hù)。同時(shí),配有專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)裝置,以方便空氣或氬氣等工作氣體充入。

主要特點(diǎn):

2   顯示操作面為60°斜面,充分考慮操作的便捷和視覺體驗(yàn),方便觀察操作;

2   真空泵連接管路為金屬波紋管,美觀耐用;

2   微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確,帶有刻度標(biāo)識(shí);

2   真空泵抽速快,噪音低,適合實(shí)驗(yàn)室使用;

2   控制電路為控制板,工作穩(wěn)定可靠;

2   顯示控制操作部分布局合理,位于同側(cè),使用方便;

2   結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠,布局合理,維修操作空間大;

技術(shù)參數(shù):

1.      玻璃處理室:Φ108mm,高度135mm;

2.      試樣臺(tái)尺寸:Φ40mm,可同時(shí)放6個(gè)樣品杯;

3.      金靶尺寸:Φ57mm;

4.      真空系統(tǒng):直聯(lián)旋片真空泵2L/S;

5.      真空檢測(cè):定制皮氏計(jì),配合真空指針表,靈敏可靠;

6.      真空保護(hù):20pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空;

7.      工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣節(jié);


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