質量流量計的工作原理主要有科里奧利力式、熱式、差壓式等，以下是具體介紹：

· 科里奧利力式

· 原理基礎：基于牛頓第二定律F = Ma。當流體在旋轉的管內(nèi)流動時會產(chǎn)生一個力，即科里奧利力，此力與流體的質量流量成正比。

· 測量過程：在傳感器內(nèi)部有兩根平行的流量管，中部裝有驅動線圈，兩端裝有檢測線圈。變送器提供激勵電壓加到驅動線圈上時，振動管作往復周期振動。當流體介質流經(jīng)傳感器的振動管，會在振管上產(chǎn)生科氏力效應，使兩根振管扭轉振動。安裝在振管兩端的檢測線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號，這兩個信號的相位差與流經(jīng)傳感器的流體質量流量成比例關系，計算機可解算出流經(jīng)振管的質量流量。此外，不同的介質流經(jīng)傳感器時，振管的主振頻率不同，據(jù)此可解算出介質密度，安裝在傳感器振管上的鉑電阻可間接測量介質的溫度。

· 熱式

· 原理基礎：基于能量守恒定律，即熱力學第一定律。

· 測量過程：熱式質量流量計的傳感器由加熱裝置和測溫傳感器組成。加熱裝置對介質進行加熱，使介質溫度增加，測溫傳感器檢測介質受加熱后的溫度變化。當介質經(jīng)過傳感器時，介質流過傳感器后的溫度變化與測溫傳感器的輸出信號成正比，通過測量因流體流動而造成的熱量（溫度）變化來反映出流體的質量流量。

· 差壓式

· 原理基礎：以馬格努斯效應為基礎。

· 測量過程：在實際應用中利用孔板和定量泵組合實現(xiàn)質量流量測量，常見的有雙孔板和四孔板與定量泵組合兩種結構。當流體流經(jīng)孔板時，會在孔板兩側產(chǎn)生壓力差，根據(jù)伯努利方程等流體力學原理，通過測量這個壓力差以及已知的孔板參數(shù)等，再結合定量泵的相關參數(shù)和工作情況，經(jīng)過計算可得出流體的質量流量。