Alicat MCDS防腐蝕雙向氣體質(zhì)量流量控制器

l 腐蝕性氣體。 與 30 多種純腐蝕性氣體和大多數(shù)制冷劑氣體兼容的接液材料。

l 用途廣泛且準(zhǔn)確。 對(duì)于 128 種以上的氣體和 20 種自定義混合物，實(shí)時(shí)控制流量或壓力，具有 NIST 可追溯的精度至 ±（讀數(shù)的 0.4% + 滿量程的 0.2%）。

l 快速，多變量。 通電后的毫秒響應(yīng)時(shí)間，以您選擇的工程單位控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力，并顯示瞬時(shí)流量、壓力和溫度讀數(shù)。

l 易于集成。 定制過程端口和電氣連接器，以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便輕松集成到您的工業(yè)過程中

設(shè)備規(guī)格和定制選項(xiàng)

快速規(guī)格

MCDS 系列性能

l 量程范圍：0.5 SCCM 至 5000 SLPM

l 控制范圍：滿量程的 1% – 100%

l 精度，NIST 可溯源：±（讀數(shù)的 0.8% + 滿量程的 0.2%）

l 可選的高精度，NIST 可溯源：±（讀數(shù)的 0.4% + 滿量程的 0.2%）

l 重復(fù)性：滿量程的±0.2%

l 響應(yīng)時(shí)間：最快 30 ms

l 預(yù)熱時(shí)間：<1 s

Alicat MCDS防腐蝕雙向氣體質(zhì)量流量控制器

MCDS 系列工作條件

l 兼容氣體：多達(dá) 130 種預(yù)加載的可選氣體校準(zhǔn)； 可使用 COMPOSER™ 定義的其他混合物

l 工作溫度：–10°C 至 +60°C

l 滿量程工作壓力：160 PSIA

l 最大壓差：75 PSID

l 耐壓：175 PSIA

l 用戶可選擇的參考條件（默認(rèn)）：25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

設(shè)備范圍和完整規(guī)格

設(shè)備的定制范圍從 0.5 SCCM 到 5,000 SLPM ，可控范圍為滿量程的 1% 到 100%。

設(shè)備特點(diǎn)

每個(gè)設(shè)備都包含

l 多參數(shù)測(cè)量：同時(shí)測(cè)量質(zhì)量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。

l 用戶可更改的測(cè)量單位：從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測(cè)量單位。

l 氣體可選性：從我們氣體列表中的 98 多種預(yù)加載 NIST 可溯源氣體校準(zhǔn)中選擇您的工藝氣體。

l Gas Select COMPOSER™：使用我們的 Gas Select Composer™ 固件，定義多達(dá) 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物。

l 帶集成觸摸板的單色背光 LCD：使用背光顯示屏和控制配置以及用戶友好的集成觸摸板輕松讀取測(cè)量值。

l 可調(diào)節(jié)設(shè)定點(diǎn)斜率值以及設(shè)定點(diǎn)范圍限制：配置斜坡速率允許用戶快速或慢速控制變化過程，設(shè)定點(diǎn)范圍限制可以防止無(wú)意的設(shè)定點(diǎn)更改帶來(lái)的影響。

l 可調(diào)節(jié)的標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力 (STP) 條件：快速更改參考條件，無(wú)需重新校準(zhǔn)。

l 閥門開合：利用警報(bào)快速排放系統(tǒng)或根據(jù)需要停止所有流量。

標(biāo)配 | 免費(fèi)

l 流量累加器和批次控制：每 1 毫秒?yún)R總一次質(zhì)量流量，以便隨著時(shí)間的推移精確跟蹤總流量，并使用批次控制來(lái)分配精確的體積。

購(gòu)買時(shí)的要求 |另外費(fèi)用

l 可選的集成電位器控制：使用集成電位器只需轉(zhuǎn)動(dòng)旋鈕即可調(diào)整設(shè)定點(diǎn)。

設(shè)備自定義選項(xiàng)

構(gòu)建和性能選項(xiàng)

l 通訊協(xié)議：模擬、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS

l 顯示器：背光單色或彩色； 集成或面板安裝

l 過程連接：NPT, SAE, AN, BSPP/G, compression, VCR, or VCO fittings

l 接液材質(zhì)：Viton, FFKM, EPDM, Silicone

l 校準(zhǔn)：高精度； 自定義校準(zhǔn)點(diǎn)

閥門選項(xiàng)和 PID 調(diào)節(jié)

您的質(zhì)量流量控制器可以使用以下閥門選項(xiàng)之一進(jìn)行定制，以確保在您預(yù)期的過程條件下獲得更佳性能。

l MCD：用于 20 SLPM 及以下流量范圍的小型比例控制閥

l 帶PCA的MCD：高性能比例控制閥，用于某些具有較高壓力的應(yīng)用

l MCPD: 小比例控制閥(不適用于腐蝕性配置)

l MCRD：用于 50 SLPM 及以上流量的幾乎無(wú)摩擦的大型 Rolamite 比例閥

注意：某些氣體（包括 SO2 和 Cl2）需要帶有 PCA 名稱的 MCD。

定制 PID 閥門調(diào)節(jié)可確保在您的特定過程條件下發(fā)揮性能。

可選配件

配件|| 分開售賣

l 工藝端口配件和過濾器

l 電源

l 通信電纜和轉(zhuǎn)換電纜

l BB3 和 BB9 多點(diǎn)集線盒