介紹：

1)顯微鏡 LED曝光系統(tǒng) UTA系列，為不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光設(shè)備。

2)使用金相顯微鏡和 LED 光源 DLP 光機(jī)，即可在涂布光阻的基板上進(jìn)行數(shù)個微米分辨率的曝光。

3)Pattern 形狀可以使用計(jì)算機(jī)繪圖自由制作。

4)可在一般環(huán)境操作，樣品外觀及尺寸限制小，價格比一般電子束曝光機(jī)更便宜、方便性更高，可以降低研發(fā)成本。

使用案例：

ü形成薄膜 FET 以及 Hole 效果量測用試料之電極。

üMo 原石取出薄片，形成原石特性評估的電極。

特色：

?使用顯微鏡和 DLP 組合之曝光系統(tǒng)，可比既有系統(tǒng)擁有更具性價比。

?軟件操作簡便，可以自由繪制曝光Pattern。

?透過物鏡倍率選擇，調(diào)整曝光范圍大小與分辨率。

?可以制造微米等級尺寸的 Pattern 。

無錫浩輝者新材料科技有限公司依靠多年材料特性研究的經(jīng)驗(yàn)及對檢測設(shè)備及技術(shù)的研發(fā)與應(yīng)用，為客戶提供材料檢測分析儀器及方法。讓客戶深入了解全面的分析技術(shù)，以及其性能限制，為客戶的分析需求選擇適合的分析儀器。與此同時，我們會幫助輔導(dǎo)客戶完成整個分析過程，得到客戶所需要的答案及結(jié)果。也可依顧客需求，提供完整專業(yè)的系統(tǒng)解決方案。

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