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什么是多級(jí)羅茨式干真空泵？
多級(jí)羅茨真空泵是在真空室中不使用油或液體的機(jī)械真空泵。
多級(jí)羅茨式干式真空泵的特點(diǎn)
羅茨干式真空泵是集成了多級(jí)機(jī)械增壓泵的干式真空泵。使用三葉轉(zhuǎn)子的羅茨型干真空泵能夠通過(guò)將多個(gè)轉(zhuǎn)子連接到單個(gè)軸來(lái)將空氣壓縮和排氣至大氣壓。轉(zhuǎn)子外殼內(nèi)不使用油或其他密封液體，可實(shí)現(xiàn)清潔排氣。齒輪和軸承中使用油進(jìn)行潤(rùn)滑，但密封結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)是為了防止油進(jìn)入殼體。
【優(yōu)點(diǎn)】可以獲得潔凈的真空，從常壓到極限壓力都可以使用。
【缺點(diǎn)】在容積效率方面，不如接觸式泵。
多級(jí)羅茨干式真空泵的主要應(yīng)用領(lǐng)域
FPD制造設(shè)備、半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空蒸餾、凈化脫氣、滅菌、干燥、脫水、消毒等。
多級(jí)羅茨式干式真空泵的機(jī)構(gòu)
氣體由高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子輸送
該泵有兩個(gè)三葉轉(zhuǎn)子（旋轉(zhuǎn)體），安裝在一個(gè)稱為外殼的盒子中，它們通過(guò)一對(duì)齒輪以相同的頻率沿相反的方向旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子彼此不接觸，或者轉(zhuǎn)子與殼體不接觸，并且在保持小間隙的同時(shí)旋轉(zhuǎn)以傳送和壓縮氣體。轉(zhuǎn)子具有多級(jí)結(jié)構(gòu)，將其壓縮至大氣壓，并將其排放到大氣中。
