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最新資訊 日本ULVAC愛發(fā)科 真空泵
發(fā)布日期
2025年 6 月2 5 日
我公司發(fā)表了[新產(chǎn)品]“ULVAC愛發(fā)科 真空泵新聞"。
愛發(fā)科ULVAC憑借其多樣化技術(shù)路線（干式/油式）和的穩(wěn)定性，廣泛應(yīng)用于以下核心領(lǐng)域：
一、半導體與制造?
?芯片制造關(guān)鍵工藝?
用于刻蝕、離子注入、薄膜沉積等環(huán)節(jié)，提供高潔凈真空環(huán)境（干式泵避免油污染晶圓）。
濺射設(shè)備中維持10?3 P真空度，保障金屬鍍層均勻性（如GLD系列油旋片泵）。
?顯示面板與光學鍍膜?
液晶面板生產(chǎn)的真空貼合工藝，確保無氣泡缺陷。
光學鏡片鍍膜時提供穩(wěn)定真空，提升薄膜附著力（DAP-6D隔膜泵適用小型設(shè)備）。
二、能源與化工?
?新能源電池生產(chǎn)?
電極材料干燥工序中創(chuàng)造無油真空，防止電解液污染。
太陽能電池硅片鍍膜設(shè)備的真空系統(tǒng)。
?化工流程強化?
真空蒸餾、分子蒸餾工藝的核心動力源（耐腐蝕型號處理酸性氣體）。
腐蝕性氣體回收（如DAT-100S干泵耐受HF、Cl?）。
三、通用工業(yè)場景?
核心性能優(yōu)勢?
?高潔凈度?：干式泵（如DAT系列）杜絕油蒸氣反流，滿足半導體級潔凈要求。
?強適應(yīng)性?：
油旋片泵（VDN301）支持高粉塵、水蒸氣環(huán)境。
特殊涂層泵體耐腐蝕性提升3倍以上。
?低維護設(shè)計?：無彈簧旋片結(jié)構(gòu)（如VSN2401）避免停泵故障，壽命延長40%。
注：油式泵需定期更換密封件和潤滑油，建議按廠商指南維護。
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