ULVAC愛發(fā)科 羅茨型干泵真空泵高溫均勻分布：在CVD、蝕刻等工藝下使反應性氣體(升華性氣體)可以以氣體形態(tài)排氣?？梢詼p少氣體固化量。強耐腐蝕性：主要零件采用...

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ULVAC愛發(fā)科 羅茨型干泵真空泵高速排氣性能：在高壓力下排氣速度大，適用于真空容器的高速排氣。 高腐蝕性：主要零件采用了硬度高且耐腐蝕性強的特殊表面處理。減少...

ULVAC愛發(fā)科 羅茨型干泵真空泵高速排氣性能：在高壓力下排氣速度大，適用于真空容器的高速排氣。 高腐蝕性：主要零件采用了硬度高且耐腐蝕性強的特殊表面處理。減少...

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ULVAC愛發(fā)科 羅茨型干泵真空泵高速排氣性能：在高壓力下排氣速度大，適用于真空容器的高速排氣。 高腐蝕性：主要零件采用了硬度高且耐腐蝕性強的特殊表面處理。減少...

ULVAC愛發(fā)科 羅茨型干泵真空泵高速排氣性能：在高壓力下排氣速度大，適用于真空容器的高速排氣。 高腐蝕性：主要零件采用了硬度高且耐腐蝕性強的特殊表面處理。減少...

ULVAC愛發(fā)科 羅茨型干泵真空泵高速排氣性能：在高壓力下排氣速度大，適用于真空容器的高速排氣。 高腐蝕性：主要零件采用了硬度高且耐腐蝕性強的特殊表面處理。減少...

ULVAC愛發(fā)科 羅茨型干泵真空泵高速排氣性能：在高壓力下排氣速度大，適用于真空容器的高速排氣。 高腐蝕性：主要零件采用了硬度高且耐腐蝕性強的特殊表面處理。減少...

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ULVAC愛發(fā)科 多段羅茨泵擁有與油泵同等極限壓力性能的多段羅茨泵。單相/三相電源均可適用。采用DC電機。

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ULVAC愛發(fā)科 空冷式羅茨型干泵空冷式羅茨型干泵。運轉時排氣室內(nèi)不使用油，轉子與缸體也無接觸，故可長時間穩(wěn)定運轉。

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