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測量真空壓力主要有三種方式：機(jī)械現(xiàn)象、氣體傳輸現(xiàn)象和氣體電離現(xiàn)象。
1. 力學(xué)現(xiàn)象
利用機(jī)械現(xiàn)象進(jìn)行測量可以使用U型管壓力計(jì)、麥克勞德真空計(jì)、隔膜真空計(jì)、波登管真空計(jì)、重量式真空計(jì)等。
U型管壓力表
這是一種帶有玻璃U型管的差壓表，其一側(cè)抽真空并密封?？梢詮膲毫Σ钜鸬囊褐叨茸x取氣體中的壓力差，其du特之處在于不受氣體類型的影響。這使得可以測量壓力的絕對值。
McLeod真空計(jì)
一種水銀液柱壓力計(jì)，用于測量高真空壓力。它具有壓縮氣體并擴(kuò)大其壓力的機(jī)制，從而可以測量絕對壓力。
隔膜真空計(jì) 這
是一種通過機(jī)械、光學(xué)和電學(xué)方式讀取隔膜壓力引起的變形量的方法。
2. 氣體輸送現(xiàn)象
熱傳導(dǎo)真空計(jì)是利用氣體傳輸現(xiàn)象的真空壓力表。它利用了氣體的熱導(dǎo)率隨壓力而變化的特性。
熱傳導(dǎo)真空計(jì)的種類很多，如皮拉尼真空計(jì)、熱敏電阻真空計(jì)、熱電偶真空計(jì)等。關(guān)于熱傳導(dǎo)真空計(jì)需要注意的重要一點(diǎn)是，在高真空下，熱輻射的影響變得大于熱傳導(dǎo)的影響。因此，熱導(dǎo)真空計(jì)的缺點(diǎn)是不能用于高真空測量。
皮拉尼真空計(jì)是一種檢測電阻變化的測量儀器。在該方法中，電流通過細(xì)鉑電阻絲，電橋電路檢測由于氣體分子碰撞帶走熱量而引起的鉑電阻的變化。
3、氣體電離現(xiàn)象
該方法利用氣體的電離現(xiàn)象來測量真空度。有熱陰極電離真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)、輻射真空計(jì)等多種類型。
熱陰極電離真空計(jì)
通過從熱陰極發(fā)射熱電子來電離氣體并測量產(chǎn)生的離子。
冷陰極電離真空計(jì)
通過冷陰極放電使氣體電離并測量離子的方法。
輻射真空計(jì)
測量輻射產(chǎn)生的離子。
