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池田屋實業(yè)（深圳）有限公司
中級會員·3年您現(xiàn)在的位置： 池田屋實業(yè)（深圳）有限公司>>HORIBA堀場>> PE-D20全新HORIBA堀場 緊湊機身中的控制單元
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 聯(lián)系人：
- 韓政
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- 0755-22220216
- 手機：
- 17607554908
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- 深圳市龍華區(qū)龍華街道松和社區(qū)匯食街一巷7號3層
- 個性化：
- www.taotaoxi.com
- 網址：
- www.ikedaya.cn/
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產品簡介
| 應用領域 | 農業(yè),電子,交通,電氣,綜合 | 訂貨號 | 176.0755.4908. |
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從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制
保證高精度
1秒內高速響應
全量程（T98）
尺寸緊湊，
產品介紹
全新HORIBA堀場 緊湊機身中的控制單元
全新HORIBA堀場 緊湊機身中的控制單元
隨著半導體制造薄膜沉積工藝中微細加工的進步，處理后保持腔室清潔對于提高生產率變得非常重要。 IR-400系列是用于薄膜沉積工藝的腔室清潔終點檢測監(jiān)視器，可實時監(jiān)測廢氣成分（SiF4、CF4）。通過優(yōu)化干洗終點檢測、減少清潔氣體消耗和時間以及減少室損壞，有助于延長零件的使用壽命。
寬廣的流量控制范圍，從 10 SCCM 到 1000 SLM
流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執(zhí)行
高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度
配備數字校正功能，實現(xiàn)設定點精度
全流量范圍快速響應：1秒內完成全量程
配備多氣體/多量程功能，
允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。
在整個流量范圍內（上升、下降、設定值到設定值）響應時間為 100 毫秒或更短
自診斷多重診斷功能
改進的壓力不敏感功能
高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復性 (±0.15 %SP)
兼容環(huán)境溫度范圍廣（15-60℃）
0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度
提供了過程優(yōu)化和靈活性。
小于500毫秒的高速響應
級別，
尺寸僅為其他公司的 1/20，傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設備中
該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個四極桿部分，具有的結構，盡管其尺寸最小，但仍實現(xiàn)了高靈敏度。
低真空（高壓）操作
當測量總壓力高達 0.5 Pa（對于 2-65 m/z 傳感器）時，無需準備額外的差壓泵系統(tǒng)。
用戶可更換的傳感器
校準過濾器可以在現(xiàn)場輕松更換，無需拆卸設備。
一臺安裝了專用通信
軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺設備。它還具有適合設備集成的模擬輸入/輸出。
用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發(fā)的，可實現(xiàn) QL-SG02 的控制、數據采集、可視化和分析。
