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供應簡介

池田屋現(xiàn)貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置
USHIO 一直提供專門用于服務器、個人電腦、智能手機和平板電腦等移動設備中使用的封裝應用的步進機。這是一款封裝基板用步進機，采用了Ushio多年來積累的光源和光學技術以及我們的大面積投影透鏡技術，并使用了與面板尺寸相對應的平臺。它實現(xiàn)了高生產(chǎn)率，同時實現(xiàn)了封

詳細介紹

池田屋現(xiàn)貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置

USHIO 一直提供專門用于服務器、個人電腦、智能手機和平板電腦等移動設備中使用的封裝應用的步進機。這是一款封裝基板用步進機，采用了Ushio多年來積累的光源和光學技術以及我們的大面積投影透鏡技術，并使用了與面板尺寸相對應的平臺。它實現(xiàn)了高生產(chǎn)率，同時實現(xiàn)了封裝基板所需的高分辨率和覆蓋精度。

[元件技術]

配備全球占有率第一的超高壓UV燈

具有高均勻性的照射光學系統(tǒng)

的大面積投影鏡頭

響應基板特定畸變的對準技術

的TTL非曝光波長/對準方法

Ushio的技術“TTL非曝光波長對準"在觀察掩模標記時無需暴露基板上的對準標記。此外，由于可以直接觀察工件標記，因此不會因掩模而降低對比度，并且可以與清晰的標記進行高精度對準。

兼容多種對準標記

由于支持對已登記圖案的圖案匹配，因此無需專用對準標記，即可與各種布線圖案進行對準。

高分辨率能力

配備Ushio投影鏡頭“UPL系列"以實現(xiàn)高分辨率。支持全面量產(chǎn)，設計規(guī)則線距=5μm。

深景深

由于焦點深度較深（±50 至 100 μm），因此即使由于基板的臺階、翹曲或波紋而導致焦點偏離，也可以獲得與正確對焦時相同的圖案輪廓。當曝光較厚的干膜、阻焊劑等時尤其有效。

使用表面平臺進行高速步進和重復

通過使用精密空氣軸承消除摩擦，并通過平面電機結構使運動部件更輕、更堅固，實現(xiàn)了高速步進重復操作。此外，表面平臺使用激光干涉儀進行反饋控制，實現(xiàn)高速運行和高定位精度。

面罩無損傷

UX-4系列陣容

模型	UX-4486SC	UX-44101SC	UX-4423SC	UX-4459SC	UX-4440SC	UX-4438SC	UX-4458SC	UX-4477SC
面罩尺寸	□5英寸		□7英寸、□5英寸			□9英寸、□7英寸
晶圓尺寸	φ4英寸		φ6英寸、φ4英寸			φ8英寸、φ6英寸
解決	7μm長/秒	2μm長/秒	9μm長/秒	6μm長/秒	5μm長/秒	12μm長/秒	6μm長/秒	4μm長/秒
總體疊加精度	±1.0μm L/S	±1.0μm L/S	±1.0μm L/S	±1.0μm L/S	±2.0μm L/S	±1.0μ;m L/S	±1.0μm L/S	±1.0μm L/S
曝光波長	洲際線	我行	洲際線	我行	我行	洲際線	我行	我行
吞吐量	120W/小時
選項	背面對準、IR對準、掩模庫、特殊晶圓支撐

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