當前位置:納加霍里科技(上海)有限公司>>TORAY東麗>>氧氣分析儀>> MS-500TORAY東麗 氧氣分析儀
產品型號MS-500
品 牌TORAY/東麗
廠商性質經銷商
所 在 地上海市
更新時間:2024-08-15 17:34:45瀏覽次數(shù):304次
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TORAY東麗 氧氣分析儀 MS-500
TORAY東麗 氧氣分析儀 MS-500
最多可以同時測量8個點
可以從ppm級別到100%的廣泛濃度表示。
安裝在半導體制造裝置、真空裝置等上
傳感器為直插式(真空NW法蘭16/25/40)
對高耐久的傳感器施以特殊涂層,進一步提高耐久性
測定原理 | ジルコニア濃淡電池式 | ||
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形狀 | 分離型(変換器:壁掛式、センサ:直挿式) | ||
表示方式 | デジタル4桁表示(濃度表示) | ||
測定レンジ | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0atm 自動レンジ | ||
繰返性 | ±0.5%FS以內 0-1%レンジ以上 ±1%FS以內または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満 0-1ppm,atmレンジは濃度保証範囲外 | ||
測定點數(shù) | 1~8 | ||
サンプルガス條件 | 圧力 | 10-3~200KPa(絶対圧) | |
流量 | 0.5~5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散狀態(tài)の測定) | ||
濕度 | 露點が周囲溫度以下 | ||
溫度 | 0~100℃ | ||
その他 | 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと | ||
比較ガス | 大気 | ||
記録計出力 | 伝送出力のみ | ||
伝送出力 | RS-232C | ||
警報出力 | なし | ||
ウォームアップ時間 | 6分以內 | ||
寸法 | MS-500(コントローラ) | 92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず) | |
MS-510(変換機) | 100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず) | ||
センサユニット | SD16NW | 全長100mm(センシング部Φ11×39,胴體部Φ40×51) | |
SD25NW | 全長100mm(センシング部Φ11×42,胴體部Φ40×48) | ||
SD40NW | 全長100mm(センシング部Φ11×41,胴體部Φ40×49) | ||
質量 | MS-500(コントローラ) | 約0.6Kg | |
MS-510(変換器) | 約0.5kg | ||
センサユニット | SD16NW | 約0.2Kg | |
SD25NW | 約0.2Kg | ||
SD40NW | 約0.35Kg | ||
外部接続 | 真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか | ||
使用電源 | 24VDC±10% |
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