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美國EGH-6210 EGPS-6210高能電子槍特點
可聚焦、高能電子束,光斑尺寸小至 50 μm
1 keV 至 60 keV
應(yīng)用:
一般真空物理學(xué)
輻射研究
地表轟炸
半導(dǎo)體研究
生物標(biāo)本輻射
X 射線生成
血漿激發(fā)
熒光研究
表面物理研究
功能/選項:
小光斑尺寸低至 50 μm
中等電流束至 5 mA
高達 10 mA 的高電流束
靜磁聚焦
靜磁光束整形(可選)
靜磁偏轉(zhuǎn)
脈沖能力
運行期間的內(nèi)部對準(zhǔn)
差速泵送
用戶可更換的點火裝置
能量范圍:1 keV 至 60 keV
光束電流:10 μA 至 5 mA
光斑尺寸:50 μm 至 10 mm
安裝:2.75 英寸(23/4)CF
Kimball Physics EGH-6210 電子槍及其匹配的 EGPS-6210 電源是一個完整的子系統(tǒng),可連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)傳遞電子。EGH-6210 可應(yīng)用于空間材料測試、輻射研究、半導(dǎo)體研究、X 射線產(chǎn)生和等離子體激發(fā)。
該槍使用單晶六硼化鑭 (LaB6) 陰極產(chǎn)生高能、可聚焦的小光斑電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內(nèi)獨立調(diào)節(jié);能量從 1 keV 到 60 keV,電流從 10 μA 到 5 mA。電子束可以通過控制網(wǎng)格的輸入信號進行脈沖傳輸。
噴槍的可調(diào)節(jié)光學(xué)元件可以適應(yīng)不同的發(fā)散和一系列工作距離,適用于各種應(yīng)用。磁性聚焦透鏡可以將光斑尺寸從 10 mm 變?yōu)?50 μm。磁性定心和可選的整形線圈提供額外的電子束控制,允許用戶偏轉(zhuǎn)和塑造電子束。整形通常會產(chǎn)生橢圓形梁,其兩個軸都可以獨立壓縮或延伸。靜磁聚焦透鏡和偏轉(zhuǎn)整形四極桿都能產(chǎn)生低像差的結(jié)果。此外,陰極到陽極的間距可在內(nèi)部調(diào)節(jié)以改變磁長。
該噴槍有可調(diào)節(jié)的陰極饋通組件,允許點火裝置相對于陽極和色譜柱進行機械對準(zhǔn)。這種對準(zhǔn)可以在噴槍在光束打開的情況下運行時實時完成。
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